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马颖聪

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇投影物镜
  • 6篇气液
  • 6篇物镜
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻机
  • 3篇回收
  • 2篇多孔介质
  • 2篇气体
  • 2篇气体回收
  • 2篇亲水
  • 2篇锥孔
  • 2篇减振
  • 2篇光刻系统
  • 1篇液面
  • 1篇气液分离
  • 1篇流场
  • 1篇浸没
  • 1篇均匀分布

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇马颖聪
  • 6篇陈文昱
  • 6篇傅新
  • 4篇徐宁
  • 2篇童章进

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种用于浸没式光刻机的气液隔离装置
本发明公开了一种在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片，投影物镜组和硅片之间安装有气液隔离装置。气液隔离装置从下至上依次包括浸没单元表面块、浸没单元下端盖、浸没单元主体和浸没单元上端盖，用螺钉连成一体。本发明第一层为水平回收...
傅新马颖聪徐文苹徐宁陈文昱
文献传递
用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液减振回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、多孔介质；密封和注液回收装置由浸没单元上端盖...
傅新马颖聪陈文昱徐宁
文献传递
用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液减振回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、多孔介质；密封和注液回收装置由浸没单元上端盖...
傅新马颖聪陈文昱徐宁
一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置。包括在投影物镜组和硅片之间安装的气密封及气液隔离装置，其包括浸没单元下端盖和基体；浸没单元下端盖上开有中心锥孔、镜头注液口、镜头回收口、气液分离腔、第二级回...
傅新徐文苹陈文昱马颖聪童章进
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一种用于浸没式光刻机的气液隔离装置
本发明公开了一种在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片，投影物镜组和硅片之间安装有气液隔离装置。气液隔离装置从下至上依次包括浸没单元表面块、浸没单元下端盖、浸没单元主体和浸没单元上端盖，用螺钉连成一体。本发明第一层为水平回收...
傅新马颖聪徐文苹徐宁陈文昱
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一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置。包括在投影物镜组和硅片之间安装的气密封及气液隔离装置，其包括浸没单元下端盖和基体；浸没单元下端盖上开有中心锥孔、镜头注液口、镜头回收口、气液分离腔、第二级回...
傅新陈文昱徐文苹马颖聪童章进
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