魏泽文
- 作品数：18 被引量：14H指数：2
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信生物学电气工程更多>>
- 基于微机械技术的电容非热式流速传感器
- 基于微机械技术的电容非热式流速传感器是一种利用MEMS技术加工的叶轮进行检测流速的传感器，该传感器由玻璃底盘(1)，硅顶盖(2)，转轴(3)，转盘(4)，叶轮(5)、电容极板(6)所组成；在玻璃底盘(1)上固定有转轴(3...
- 秦明魏泽文黄庆安
- 文献传递
- 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
- 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱(1)、正交支撑梁(2)、SOI硅衬底(3)组成，SOI硅衬底(3)为一个中空的矩形，在SOI硅衬底(3...
- 魏泽文秦明黄庆安
- 文献传递
- 一种新型硅压阻式流速流向传感器的设计被引量：6
- 2007年
- 本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为立柱的倾斜和相应的梁的变形,通过4根正交梁端部的压阻应变计来测量梁的变形。通过测量压电电阻的阻值变化就可以得到流体的流速和流向。利用惠斯通电桥来获得正弦电压输出。理论分析了器件的结构变形和电压输出,并用有限元方法进行了验证。为该传感器设计了一套基于键合技术的体微机械加工工艺。
- 魏泽文秦明黄庆安
- 关键词：微机械硅压阻
- 基于微机械系统的非热式流速流向传感器
- 基于微机械系统的非热式流速流向传感器是一种利用微机械系统加工的，含有支撑梁和阻流体的电容式流速流向传感器，该传感器在衬底(7)上设有阻流体(2)，在阻流体(2)的圆心设有一个固定在衬底(7)上的支柱(1)，支柱(1)与阻...
- 魏泽文秦明黄庆安
- 文献传递
- 一种流式电穿孔装置及系统
- 本发明公开了一种流式电穿孔装置及系统，该系统包括：流式电穿孔装置，其中包括：基板，以及制作在基板上的电极，所述的电极，是交叉布置的，每两个电极为一对，每对电极包括相对设置的阳极和阴极；置于电极之上的限制流体流动的通道；所...
- 李志宏梁子才王玮魏泽文黄璜
- 一种新型硅电容式流速流向传感器的设计被引量：1
- 2006年
- 设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出.
- 魏泽文秦明黄庆安
- 关键词：微机械硅电容
- 一种新型硅电容式流速流向传感器的设计
- 本文设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器...
- 魏泽文秦明黄庆安
- 关键词：微机械硅电容
- 文献传递
- 一种流式电穿孔装置及系统
- 本发明公开了一种流式电穿孔装置及系统，该系统包括：流式电穿孔装置，其中包括：基板，以及制作在基板上的电极，所述的电极，是平行并成对放置的，每对电极包括相对设置的阳极和阴极；置于电极之上的限制流体流动的通道；所述通道起始端...
- 李志宏梁子才魏泽文黄璜
- 叶轮式流量传感器检测电路的设计与调试
- 本文从叶轮式微流量传感器的结构及工作原理出发,设计了该传感器的电容检测电路.该电路由振荡电路和数字鉴频等单元电路构成,通过PSPICE仿真,实际搭制及调试,实现了检测电路的功能.
- 孙萍张璐魏泽文秦明黄庆安
- 关键词：检测电路
- 文献传递
- 一种电穿孔芯片及基于电穿孔芯片的多孔板装置
- 本发明公开了一种电穿孔芯片及用于电穿孔的多孔板装置，所述多孔板装置包括：多个电穿孔芯片，所述电穿孔芯片包括承载电极的基板和电极，所述电极每两个为一对，包括相对设置的阳极和阴极，且阴极和阳极之间相互嵌套；多孔板，包括多个孔...
- 梁子才李志宏杜权黄璜魏泽文
