付景永
- 作品数：10 被引量：15H指数：3
- 供职机构：北京工业大学固体微结构与性能研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京教委资助项目国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- ZnO纳米线原位生长的ESEM方法被引量：4
- 2006年
- 以环境扫描电镜(ESEM)为基础,配置氧气微注入系统及加热台附件,作为ZnO纳米线生长的微型实验室。实验结果表明,纯Zn片在环境压力为1×10-2Pa和300℃的环境条件下,可原位反应生成直径几十纳米的、较均匀的ZnO纳米线。
- 田彦宝吉元付景永张隐奇权雪玲张跃飞郑善亮韩晓东
- 关键词：ZNO纳米线
- 采用同步辐射源X射线衍射技术原位观测VLSI铝互连线的应力被引量：3
- 2005年
- 为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化.沉积态的Al互连线在室温下为拉应力.退火过程使拉应力逐渐减小,在300～350℃过程中由拉应力转为压应力.在电流密度为(3×105～4×106)A/cm2,275min的电徙动实验过程中,Al互连线阳极端由拉应力转变为压应力,并随后随着电流密度的增加而增加.此外,采用扫描电镜(SEM)观察了Al互连线的电迁徙失效特征及应力释放过程.
- 吉元刘志民付厚奎李志国钟涛兴张虹吴月华付景永
- 关键词：热应力电迁徙
- 扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用被引量：3
- 2007年
- 观察非导电样品在扫描电镜(SEM)中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件,监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明,当Es达到7 kV-9 kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ■1,Es■ 4kV,及Ia■0时,形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2,以及评价非导电样品导电性能。
- 张隐奇吉元田彦宝付景永徐学东戴琳王丽
- 关键词：扫描电镜非导电材料
- 氧化铝的加热荷电补偿研究被引量：1
- 2007年
- 在环境扫描电镜（ESEM）中配置加热台，对Al2O3样品进行加热实验。结果表明，Al2O3表面的荷电效应随温度的稳定升高而逐渐减小。当温度上升至～360℃时，荷电效应完全消除，得到清晰的二次电子（SE）像。在加热过程中，Al2O3样品的吸收电流（Iα）值不断提高，在～360℃时达到2．67×10^-7A。这个值相当于Al样品台的乇值，表明加热可增加Al2O3表面的导电率。此外，在高真空环境中通过加热消除荷电后，得到的Al2O3样品的SE像衬度优于通常在低真空环境中通过电子-离子中和作用得到的图像衬度。
- 王丽付景永吉元张隐奇徐学东钱鹏翔
- 关键词：荷电效应AL2O3
- 环境扫描电镜中电荷环境的测量被引量：3
- 2007年
- 在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP)。ISP值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境。法拉第杯的ISP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的ISP反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境。由ISP值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用。
- 付景永吉元张隐奇王丽田彦宝徐学东韩晓东
- 环境扫描电镜中电荷环境的测量方法
- 本发明中涉及一种环境扫描电镜中电荷环境的测量方法。该方法中采用一个高灵敏度的微小电流测试仪表(pA－表)和计算机，测量在电子束辐照下，在法拉第杯中，以及金属、半导体和绝缘体中的样品电流(I<Sub>SC</Sub>)，即...
- 吉元付景永张隐奇徐学东王丽韩晓东
- 文献传递
- 采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境
- ＜正＞采用环境扫描电镜（ESEM）,非导体及含水样品不经过表面喷金或喷碳处理就能直接观察。在 ESEM 样品室中,电子-离子-样品相互作用,构成了一个复杂的动态电荷环境：入射电子（PE）,二次电子（SE）、背散射电子（B...
- 付景永张隐奇田彦宝徐学东韩晓东吉元
- 文献传递
- 加热消除绝缘陶瓷样品荷电效应的方法
- 本发明是一种加热消除绝缘陶瓷样品荷电效应的方法。该方法主要用于消除陶瓷类绝缘样品在电子束辐照下产生的荷电效应，达到在扫描电镜中直接对绝缘样品进行观察和分析的目的。本发明是在SEM中配置一个加热装置，而不改变SEM原有的真...
- 吉元徐学东付景永王丽张隐奇
- 文献传递
- 环境扫描电镜环境研究及原位观察分析
- 本文研究环境扫描电镜(ESEM)的电子散射及电荷环境等基础问题，ESEM原位动态观察技术的应用。
首先研究了电子一气体一样品的相互作用，从计算、模拟及测试三个方面研究了电子的散射。计算了在不同压力和温度下的电子...
- 付景永
- 关键词：电子散射
- 文献传递
- 采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境
- 2006年
- 付景永张隐奇田彦宝徐学东韩晓东吉元
- 关键词：ESEM电荷二次电子气体分子
