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余金中

作品数：296 被引量：536H指数：11
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 177篇期刊文章
  • 85篇专利
  • 27篇会议论文
  • 4篇科技成果

领域

  • 189篇电子电信
  • 28篇理学
  • 3篇机械工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 68篇波导
  • 52篇SOI
  • 40篇光电
  • 39篇光开关
  • 28篇光波
  • 28篇半导体
  • 26篇耦合器
  • 25篇硅基
  • 23篇调制器
  • 22篇发光
  • 21篇光学
  • 19篇英文
  • 18篇多模
  • 18篇激光
  • 17篇多模干涉
  • 17篇探测器
  • 17篇光电子
  • 16篇调谐
  • 16篇滤波器
  • 15篇量子

机构

  • 278篇中国科学院
  • 23篇厦门大学
  • 11篇山东大学
  • 4篇北京工商大学
  • 3篇北京大学
  • 3篇深圳信息职业...
  • 2篇华中科技大学
  • 2篇武汉邮电科学...
  • 2篇中央民族大学
  • 2篇中国科学院微...
  • 1篇东北大学
  • 1篇贵州大学
  • 1篇复旦大学
  • 1篇北京师范大学
  • 1篇东北师范大学
  • 1篇集美大学
  • 1篇南京大学
  • 1篇华侨大学
  • 1篇吉林大学
  • 1篇同济大学

作者

  • 293篇余金中
  • 69篇王启明
  • 64篇成步文
  • 63篇陈少武
  • 37篇李运涛
  • 35篇俞育德
  • 33篇王启明
  • 30篇左玉华
  • 22篇李成
  • 20篇黄昌俊
  • 20篇严清峰
  • 19篇夏金松
  • 18篇李智勇
  • 18篇毛容伟
  • 17篇樊中朝
  • 16篇李传波
  • 16篇于卓
  • 15篇李代宗
  • 15篇陈媛媛
  • 14篇张建国

传媒

  • 56篇Journa...
  • 16篇半导体光电
  • 15篇光电子．激光
  • 13篇物理
  • 12篇光子学报
  • 10篇激光与红外
  • 9篇物理学报
  • 7篇第十二届全国...
  • 5篇飞通光电子技...
  • 3篇激光与光电子...
  • 3篇发光学报
  • 3篇半导体杂志
  • 3篇功能材料与器...
  • 3篇光子技术
  • 3篇第十三届全国...
  • 3篇第十四届全国...
  • 2篇半导体技术
  • 2篇厦门大学学报...
  • 2篇光学学报
  • 2篇红外与毫米波...

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 11篇2012
  • 13篇2011
  • 12篇2010
  • 21篇2009
  • 30篇2008
  • 28篇2007
  • 20篇2006
  • 22篇2005
  • 16篇2004
  • 25篇2003
  • 19篇2002
  • 18篇2001
  • 23篇2000
  • 9篇1999
共 296 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法
一种带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器，所述耦合器采用绝缘体上的硅材料，包括：一硅衬底；一限制层，该限制层制作在硅衬底上；一顶硅层，该顶硅层制作在限制层上，在该顶硅层的表面制作有衍射光栅，在衍射光栅的一侧制作有反射光栅...
朱宇李智勇俞育德余金中
文献传递
热光型光开关的研究进展被引量：1
2001年
从新材料、新结构和新工艺的角度综述了热光开光和热光开关阵列的研究进展。
夏金松余金中
关键词：热光开关阵列新结构
提高热光通信器件响应速度的测试方法及驱动电路
一种提高热光通信器件响应速度的驱动电路，包括：一输入信号缓存电路，用以接收路由信号；一信号采样电路，其输入端与输入信号缓存电路的输出端连接，用以对输入路由信号进行采样；一信号处理电路，其的输入端与信号采样电路的输出端连接...
李运涛陈少武余金中
文献传递
硅基微纳光子器件制备工艺问题及解决方案
本文讨论硅基微钠光子器件制备过程中涉及的几个导ICP-RIE刻蚀的侧壁粗糙问题;光栅及MOS绝缘栅氧化硅填充致密问题.这些问题影响器件的结构均匀性、波导传输损耗、光栅的散射损耗以及MOS绝缘栅的绝缘性能.在分析实验结果的...
陈少武屠晓光余和军樊中朝徐学俊余金中
关键词：CVD
文献传递
一种氮化物发光器件及其制备方法
一种氮化物发光器件及其制备方法，涉及一种半导体发光器件。提供一种非对称耦合多量子阱结构为有源区的氮化物发光器件及其制备方法。至少包括n-型电子注入层、p-型空穴注入层和多量子阱有源层，多量子阱有源层夹在n-型电子注入层和...
张江勇张保平王启明蔡丽娥余金中
文献传递
一种新的基于最小平方逼近的广角光束传播方法被引量：5
2003年
用最小平方逼近展开传播算子 ,实现了一种新的半矢量显式高阶有限差分光束传播方法 .这种方法中不需要选择参考折射率 ,并在整个传播常数 (包括辐射模的传播常数 )分布区域进行逼近 ,解决了在泰勒展开和庞德逼近中存在的参考折射率选择和远离展开点误差增大等问题 .用这种方法对几种典型波导结构进行了数值模拟 ,模拟结果验证了算法的正确性和可靠性 .
夏金松余金中
关键词：有限差分集成光学数值模拟
短小光波导芯片的测量方法
一种短小光波导芯片的测量方法，是使用由激光器、输入透镜光纤、芯片、凸透镜、显示屏、输出透镜光纤和探测设备组成的设备进行的测量，包括：首先对经解理露出了波导端面的芯片用粘合剂粘在一段反光的材料上；在芯片的输入端采用输入透镜...
余和军余金中邢波
文献传递
从GFP2011看硅光子学的进展
2012年
半导体硅材料不仅是一种电子材料,也是一种合适的光子材料。成熟的微电子加工工艺更为硅光子学提供了坚实的技术基础。根据第八届Ⅳ族光子学国际会议的信息,文章综述了硅基光波导技术特别是SOI光波导技术研究的最新进展,着重介绍了光调制器、亚波长光栅、混合集成、封装以及波导加工等方面的新理念与新方法。
陈媛媛余金中
关键词：SOI硅基光子学
SOI基光耦合器研究进展
2007年
文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。
刘艳余金中
关键词：耦合器
硅基光波导及光波导开关的研究进展被引量：13
1999年
ＳｉＯ２ 光波导、重掺杂光波导、ＳＯＩ光波导、合金光波导及聚合物光波导等低损耗硅基光波导的研究已取得了很大的进展，随着这些波导的硅基光开关不断研制出来，各种光开关结构也不断提出来了。为了解决硅的线性电光系数为零的问题，采用了多种方法，以获得强的线性电光效应，实现高速光开关。文章回顾了近十年来硅基光波导及光开关的研究进展。
魏红振余金中刘忠立王启明
关键词：光电集成光开关
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