刘晓清
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：厦门大学化学化工学院化学系更多>>
- 发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金福建省科技重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- CO_2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片被引量：4
- 2006年
- 玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参数,腐蚀液组成,牺牲层等因素对芯片质量的影响.该方法简便易行,不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤.
- 刘晓清郝苇苇高巍巍周勇亮
- 关键词：微流控芯片CO2激光湿法腐蚀
- CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
- 玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参...
- 刘晓清郝苇苇高巍巍周勇亮
- 关键词：微流控芯片CO2激光湿法腐蚀激光直写
- 文献传递
- 微反应芯片的表面增强拉曼光谱原位检测
- 作为高信息量的原位检测方法表面增强拉曼光谱(SERS)在芯片领域具有重要意义。本文利用电化学氧化还原(ORC)粗糙法在微反应芯片上制备具有SERS活性的银基底,并用于原位检测亚胺生成反应。得到SERS信号最高可达7000...
- 郝苇苇张峰刘晓清周勇亮
- 关键词：表面增强拉曼光谱
- 文献传递
