您的位置： 专家智库 > >

叶钧

作品数：8 被引量：45H指数：4
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 6篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇光学
  • 4篇二元光学
  • 3篇光刻
  • 3篇光学器件
  • 3篇光学元件
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射光学
  • 2篇衍射光学元件
  • 2篇透镜
  • 2篇微光学
  • 2篇微透镜
  • 2篇激光
  • 2篇光刻胶
  • 2篇二元光学器件
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇调焦
  • 1篇调焦系统
  • 1篇衍射效率
  • 1篇指示仪

机构

  • 8篇浙江大学

作者

  • 8篇叶钧
  • 5篇许乔
  • 5篇侯西云
  • 4篇杨国光
  • 2篇周光亚
  • 2篇包正康
  • 1篇陈钰清
  • 1篇黄学波
  • 1篇余中如

传媒

  • 3篇光学学报
  • 2篇仪器仪表学报
  • 1篇浙江大学学报...

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1997
  • 4篇1996
  • 1篇1993
  • 1篇1992
共 8 条 记 录，以下是 1-8
全选 清除 导出
排序方式：
光栅干涉二维合成孔径的实验研究被引量：1
1993年
本文对一种成像系统——光栅干涉合成孔径成像系统进行了研究,证明这种频域成像系统具有高分辨,甚至超分辨的性能.用计算机控制的模拟点目标以及同步光栅扫描,完成了二维孔径合成实验,证明这种大瞬时光谱带宽的频谱孔径不受衍射极限限制,对空间点目标有极高的位置分辨率,存在超分辨的可能性.
杨国光徐明叶钧
关键词：孔径成象系统
折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究被引量：18
1996年
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法，获得了２０×２０的折射型微透镜列阵，单元微透镜相对口径为Ｆ／２，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ，透镜的波像差小于１．３波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法，并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。
许乔叶钧周光亚侯西云杨国光包正康余中如
关键词：微透镜列阵微光学光刻胶光学元件
平板玻璃切割位置激光指示仪
一种平板玻璃切割位置激光指示仪，由激光器、反射镜、光电接收器和玻璃刀执行机构所组成。玻璃刀切割出的刻划线使激光部分透射部分散射。光电接收器安装在直接透射光的周围使其只能接收到散射光同时发出电脉冲给玻璃刀执行机构使玻璃刀开...
黄学波叶钧陈钰清
文献传递
混合光学系统设计理论和CAD实现研究
该文对混合光学系统(HOS)设计理论进行了详细研究和总结.
叶钧
关键词：衍射光学元件光学设计二元光学
二元光学元件衍射效率的逐层分析法研究被引量：16
1996年
提出了一种有效的分析二元光学元件衍射效率的新方法逐层分析法，并对四台阶二元器件，就蚀刻深度误差和横向对准误差对器件衍射效率的影响进行了详细的分析和讨论。
叶钧许乔侯西云杨国光
关键词：衍射光学元件二元光学衍射效率光学器件
热熔微透镜阵列的综合性能测试被引量：6
1996年
我们运用光刻胶热熔成形的方法，制作了２０×２０的折射型微透镜阵列，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ。此微透镜阵列具有极好的均匀性。本文详细讨论了对此阵列的焦距、透镜的形状及面形质量、波像差及点扩散函数等参数的测试方法及实验结果。实验结果表明，该微透镜阵列在０．３数值孔径下达到了衍射极限的光学性能。
许乔叶钧包正康侯西云
关键词：微透镜阵列微光学光刻胶
极坐标激光直接写入系统研究被引量：3
1996年
本文对极坐标激光直接写入系统进行了初步的研究，介绍了它的原理及结构，该系统可用于二元光学掩模的制作，具有加工孔径大、线宽小的特点，特别适用于圆对称的图形。加工此类图形在制作时间、成本、元件质量等方面都优于电子束曝光机。
周光亚侯西云许乔叶钧
关键词：极坐标光刻物镜二元光学器件自动调焦系统电子束曝光机
八台阶二元光学器件套刻误差的逐层分析法研究被引量：8
1999年
用逐层分析法就八台阶二元器件套刻误差对器件衍射效率的影响进行了详细的分析和讨论，给出了简便。
叶钧许乔侯西云杨国光
关键词：光学器件二元光学器件
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0