2024年11月6日
星期三
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孔延梅
作品数:
85
被引量:32
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
焦斌斌
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
刘瑞文
中国科学院微电子研究所
叶雨欣
中国科学院微电子研究所
梁中翥
中国科学院长春光学精密机械与物...
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孔延梅
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2010
2篇
2009
3篇
2008
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一种集成电路元器件的工艺方法
本发明提供了一种集成电路元器件的工艺方法,包括:利用第一晶圆制作第一掺杂类型金属氧化物半导体场效应MOS器件,利用第二晶圆制作第二掺杂类型MOS器件;引出第一掺杂类型MOS器件的源极、漏极及栅极的引线;利用2M工艺纵向引...
陈大鹏
焦斌斌
孔延梅
刘瑞文
云世昌
一种可检真空度的真空玻璃及系统
本发明提供的一种可检真空度的真空玻璃及系统,所述真空玻璃包括:第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计;所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封,所述第一平...
王磊
孔延梅
焦斌斌
李博
赵发展
韩郑生
罗家俊
刘新宇
文献传递
一种液晶滤波方法、液晶滤波器和空间滤波系统
本公开实施例公开了一种液晶滤波方法,该方法包括:逐次改变液晶滤波器上遮光部分的面积,记录遮光部分的面积每次改变时所透过该液晶滤波器的光线强度;根据所记录的光线强度确定最佳频谱位置。利用本公开所提供的滤波方法,在确定最佳频...
焦斌斌
孔延梅
陈大鹏
文献传递
一种微流道散热结构、制造方法及电子器件
本发明提供了一种微流道散热结构,包括至少两个散热单元,散热单元依次堆叠;每一个散热单元上均具有散热通道;与芯片接触的散热单元上开设至少一个与散热通道连通的入口和出口;其他散热单元上开设至少两个流通通道,以将相邻散热单元上...
焦斌斌
康婷
孔延梅
朱胜利
陈大鹏
文献传递
热电集成散热模块
本发明属于微电子封装技术领域,具体涉及一种热电集成散热模块。本发明的热电集成散热模块包括:功率器件,第一基板和第二基板;功率器件的衬底上设置有蚀微结构;第一基板上设置有进口、出口和两个散热口,两个散热口分别与蚀微结构连通...
叶雨欣
焦斌斌
孔延梅
刘瑞文
陈大鹏
文献传递
一种液晶滤波方法、液晶滤波器和空间滤波系统
本公开实施例公开了一种液晶滤波方法,该方法包括:逐次改变液晶滤波器上遮光部分的面积,记录遮光部分的面积每次改变时所透过该液晶滤波器的光线强度;根据所记录的光线强度确定最佳频谱位置。利用本公开所提供的滤波方法,在确定最佳频...
焦斌斌
孔延梅
陈大鹏
文献传递
一种多传感器组合结构及其加工方法、组合传感器
本申请公开一种多传感器组合结构及其加工方法、组合传感器,涉及传感器技术领域。该加工方法包括提供一个单晶硅晶圆,在单晶硅晶圆上形成深腔,在深腔所在的一侧表面形成第一绝缘层;提供一个SOI晶圆,在SOI晶圆的顶硅层形成四个压...
焦斌斌
刘瑞文
云世昌
孔延梅
叶雨欣
杜向斌
一种晶圆级传感器气密性检测装置及方法
本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种晶圆级传感器气密性检测装置及方法,包括晶圆级传感器本体和电容检测单元;晶圆级传感器本体包括衬底、传感器件、盖设结构和引线焊盘;盖设结构键合在衬底上,盖设结构和衬底之间形成有真空腔室;...
焦斌斌
孔延梅
云世昌
陈大鹏
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应用于高温压力传感器的金属微电极及其制备方法
本发明提供了一种应用于高温压力传感器的金属微电极及其制备方法,该金属微电极包括:衬底;粘附层;形成在所述衬底上;至少一层金属层,位于所述粘附层上方;所述金属层的材料为铂族金属中的至少一种;金属焊接层,位于所述金属层的上方...
云世昌
孔延梅
焦斌斌
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微型皮拉尼真空传感器及其制作方法
本发明提供了一种微型皮拉尼真空传感器及其制作方法,该微型皮拉尼真空传感器包括衬底,所述衬底上形成有凹槽;结构层,所述结构层覆盖凹槽的开口且与凹槽合围形成空腔;所述凹槽的至少一个侧壁上开设有连通空腔的入口;加热部件,设置在...
焦斌斌
黄维康
孔延梅
赖俊桦
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