- 沉积速率和氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响被引量：6
- 2009年
- 采用ZYGOMarkIII-GPI数字波面干涉仪对以K9玻璃为基底的电子束蒸发方法制备的HfO2薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积速率、氧分压这两种工艺参量对HfO2薄膜残余应力的影响.实验结果表明:在所有的工艺条件下,薄膜的残余应力均为张应力;随着沉积速率的升高,氧分压的减小,薄膜的堆积密度逐渐增大,而残余应力呈减小趋势.同时用X射线衍射技术测量分析了不同工艺条件下HfO2薄膜的晶体结构,探讨了HfO2薄膜晶体结构是否会对其应力造成影响.
- 岑忞章岳光陈卫兰顾培夫
- 关键词：残余应力HFO2薄膜沉积速率氧分压
- LED滑行道中线灯光学设计
- 2010年
- LED光效的提升,使其在机场灯光中的应用成为可能。本文设计了一种LED滑行道中线灯的光学系统,在光学设计软件Tracepro中建立模型并进行了追迹模拟。该系统结构可靠、寿命长、光学性能达到国家标准的要求。相比传统光源,减少了整灯功率,达到了节能的目标。
- 陈郁阳蒋晓波韩凯岑忞周小丽刘木清
- 关键词：LED机场照明仿真
- 大功率发光二极管路灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置
- 本发明属于大功率LED路灯技术领域，具体涉及一种大功率发光二极管路灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置。本发明采用闭环数字控制，在整个寿命期内维持LED的输出光强，补偿其光衰，从而保证路灯在使用期间维持一个满意的照度，...
- 刘木清蒋晓波江磊岑忞韩凯
- 文献传递
- 大功率发光二极管路灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置
- 本发明属于大功率LED路灯技术领域，具体涉及一种大功率发光二极管路灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置。本发明采用闭环数字控制，在整个寿命期内维持LED的输出光强，补偿其光衰，从而保证路灯在使用期间维持一个满意的照度，...
- 刘木清蒋晓波江磊岑忞韩凯
- 文献传递
- 大功率LED隧道灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置
- 本发明属于大功率LED隧道灯技术领域，具体涉及一种大功率LED隧道灯实现长寿命可维持光强的控制方法和装置。本发明采用闭环数字控制，在整个寿命期内维持LED的输出光强，补偿其光衰，从而保证隧道灯在使用期间维持一个满意的照度...
- 刘木清蒋晓波江磊岑忞韩凯
- 文献传递
