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康宁

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇电机
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇硅片
  • 2篇感器
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体行业
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇掩膜
  • 1篇掩膜板
  • 1篇涂覆工艺
  • 1篇平板显示
  • 1篇平板显示器
  • 1篇腔体
  • 1篇腔体结构
  • 1篇显示器
  • 1篇胶膜

机构

  • 3篇沈阳芯源微电...

作者

  • 3篇康宁
  • 2篇郑春海
  • 1篇陈焱

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
方片旋转涂胶机构
本发明涉及光刻胶的胶涂技术，具体为一种方片旋转涂胶机构，应用于掩膜板及平板显示器制造中方形基片涂光刻胶工艺，也可在其它要求较高均匀性的方形基片涂覆工艺中运用，解决传统旋转涂覆方式在涂胶过程中，方形基片的四角会出现胶膜不均...
陈焱康宁
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双整定精确定位硅片圆心的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术，具体来说是一种双整定精确定位硅片圆心的方法。本发明将硅片沿圆心方向旋转，利用不同精度的线性图像识别传感器依次对硅片边缘进行识别，确认硅片平边或缺口位置，确定硅片圆心偏移量；通过双向移动...
郑春海康宁田广霖
双整定精确定位硅片圆心的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术，具体来说是一种双整定精确定位硅片圆心的方法。本发明将硅片沿圆心方向旋转，利用不同精度的线性图像识别传感器依次对硅片边缘进行识别，确认硅片平边或缺口位置，确定硅片圆心偏移量；通过双向移动...
郑春海康宁田广霖
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