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康宁
作品数:
3
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供职机构:
沈阳芯源微电子设备有限公司
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相关领域:
文化科学
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合作作者
郑春海
沈阳芯源微电子设备有限公司
陈焱
沈阳芯源微电子设备有限公司
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文化科学
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机构
3篇
沈阳芯源微电...
作者
3篇
康宁
2篇
郑春海
1篇
陈焱
年份
1篇
2012
1篇
2011
1篇
2008
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3
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方片旋转涂胶机构
本发明涉及光刻胶的胶涂技术,具体为一种方片旋转涂胶机构,应用于掩膜板及平板显示器制造中方形基片涂光刻胶工艺,也可在其它要求较高均匀性的方形基片涂覆工艺中运用,解决传统旋转涂覆方式在涂胶过程中,方形基片的四角会出现胶膜不均...
陈焱
康宁
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双整定精确定位硅片圆心的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术,具体来说是一种双整定精确定位硅片圆心的方法。本发明将硅片沿圆心方向旋转,利用不同精度的线性图像识别传感器依次对硅片边缘进行识别,确认硅片平边或缺口位置,确定硅片圆心偏移量;通过双向移动...
郑春海
康宁
田广霖
双整定精确定位硅片圆心的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术,具体来说是一种双整定精确定位硅片圆心的方法。本发明将硅片沿圆心方向旋转,利用不同精度的线性图像识别传感器依次对硅片边缘进行识别,确认硅片平边或缺口位置,确定硅片圆心偏移量;通过双向移动...
郑春海
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