张山
- 作品数：25 被引量：48H指数：4
- 供职机构：山东科技大学信息与电气工程学院电气工程及其自动化系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置
- 本发明公开了扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置，将待加工元件在二维空间上的二值图分割成等大的网状像素点，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；规划扫描工作台的速度曲线；根据速度曲线和像素点的大小D<Su...
- 张山张树青董俊峰
- 工作台各速度段激光直写二元图案被引量：1
- 2018年
- 为了进一步提高直角坐标激光的直写效率,提出了一种扫描工作台各速度段进行激光直写二元图案的方法。该方法用扫描工作台的位置反馈脉冲同步触发激光束曝光光刻胶,实现像素点的理想位置曝光;而且依据扫描工作台的运动特性和匀速直写时各像素点获得的曝光量情况,对处于扫描工作台加、减速度段的像素点的曝光强度进行调制,保证需要曝光的像素点对应的每一个位移分辨力距离上所获的曝光量与扫描工作台匀速运动时相同,从而保证扫描工作台速度连续变化的情况下激光直写能获得预期的曝光效果。仿真实验表明:以5mm×5mm曝光图案为例,该方法所需的直写时间是传统只在匀速段直写的77.77%;同时配备的声光调制器由16位降为12位时,扫描工作台整个加速段直写产生的曝光量相对误差由0.4%上升为10%。
- 张山王雷吕英俊
- 关键词：激光直写
- 因材施教的精品课程研究
- 2018年
- 以32位单片机课程为抓手,在备、讲、辅、考四个环节上打牢基础,以大学生的兴趣为导向,悉心培养学生的科技创新实践能力。以学生培养作为事业,因材施教,爱岗敬业,尽享教书育人的无限快乐和莫大幸福。
- 吕英俊张山
- 关键词：因材施教爱岗敬业
- 具有两个独立腔体且倾倒出口可控的杯子
- 本发明涉及具有两个独立腔体且倾倒出口可控的杯子，由杯盖、上杯体、下杯体、手控机关和过滤网组成，属于日常生活用品。杯盖通过螺纹连接于上杯体的第二凸颈处；上杯体通过底部螺纹与下杯体旋合，并被纵向隔板分成互不相通的两部分，较大...
- 刘青张山
- 文献传递
- 一种精确检测摄像机定标模板角点的新方法
- 本文提出了一种精确检测摄像机定标模板角点的新方法.该方法只需人工粗略确定定标模板图像的四个端角位置,然后由软件由粗到精多层次检测,通过求解单应性矩阵以及进行Harris角点检测,能够快速准确地提取模板图像中的角点.与传统...
- 赵永瑞张山范桂杰
- 关键词：摄像机定标单应性矩阵HARRIS角点检测计算机视觉
- 文献传递
- 影响直角坐标激光直写曝光质量的若干关键技术研究
- 激光直写技术无需掩模、加工灵活，可制作出边缘平滑的复杂特征结构，是制作衍射微结构光学元件的重要技术手段之一。随着科学技术的发展，对微结构光学元件的大口径和精细化的需求日益迫切，这就要求更高的激光直写精度。曝光是激光直写技...
- 张山
- 关键词：激光直写邻近效应校正
- 文献传递
- 激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)被引量：4
- 2008年
- 提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定,且当θ较小时,其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍。实验结果与理论分析吻合,表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度,减缓了曝光量在路径方向上的变化速率,从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量。
- 金占雷谭久彬张山王雷吕云飞
- 关键词：激光直写参数优化
- 极坐标激光直写径向漂移理论研究被引量：1
- 2008年
- 为了进一步提高光学元件的线条制作精度,建立了极坐标激光直写时线条中心径向漂移的补偿模型。首先推导了极坐标激光直写的曝光量分布模型,分析了径向漂移产生的原因,然后针对数值孔径为0.5的光刻物镜建立了线条展宽模型和径向漂移模型,并分析了线条展宽和径向漂移的耦合关系,在此基础上分别建立了线条展宽补偿模型和径向漂移补偿模型。仿真结果表明,补偿前的径向漂移量是线条展宽量的3倍,对径向漂移进行补偿可以很好地减小系统原理误差,提高极坐标激光直写的制作精度。
- 金占雷谭久彬刘玉涛王雷张山
- 扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的装置
- 本实用新型公开了扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的装置，将待加工元件在二维空间上的二值图分割成等大的网状像素点，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；规划扫描工作台的速度曲线；根据速度曲线和像素点的大小D<Sub...
- 张山张树青董俊峰
- 文献传递
- 面向计算思维的问题导学型数字逻辑课程教学研究被引量：2
- 2021年
- 为了在数字逻辑课程中更好地培养学生的计算思维,提出了包含“一条主线、两个主体和三个阶段”的问题导学型教学模式,就问题设计流程和问题导学解决问题方法进行了详细论述。最后以加法器一节内容作为教学案例展示了该教学模式的具体实施,使学生在解决问题的实践中完成了计算思维的培养。
- 张山吕英俊李滢潞朱其刚牛君
- 关键词：计算思维问题导学数字逻辑
