张慧敏
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法被引量：3
- 2001年
- 介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。
- 熊木地张慧敏肖文礼邢忠宝
- 关键词：二元光学元件速度控制自适应控制
- 二元光学激光直写设备软件的再用技术
- 2000年
- 介绍了激光直写设备 (LDWD)的软件系统的组成要求与特点。由于该设备的软件系统庞大而且复杂 ,由于开发周期长 ,开发人员多 ,使得此软件系统的开发与维护变得异常困难。本文提出采用软件组合技术 ,软件生成技术以及面向对象的程序设计技术 ,大大缩短了软件的开发周期与维护时间 。
- 熊木地张慧敏
