李巧萍
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术被引量：4
- 2006年
- 给出了一种MEMS薄膜材料参数的在线测试技术与方法.这种技术包括微测试结构图形、测试硬件设备和测试分析软件.它能够快速测试MEMS薄膜的主要性能参数,并且测试设备和测试方法都与集成电路测试方案兼容,即所有材料参数的测试与提取都通过电学激励与电学测量来实现.文中首先给出了测试技术与方法的工作原理,然后对用标准表面微机械加工工艺制作的多晶硅薄膜进行了测试,实验结果表明该测试技术与方法的测试效率高、成本低,具有一定的工业应用价值.
- 黄庆安刘祖韬李伟华李巧萍
- 关键词：MEMS
- 多晶硅薄膜材料参数在线测试系统研究
- 对于表面加工工艺制作的MEMS器件，其主要结构由各种薄膜材料构成，薄膜材料参数会随工艺加工条件的不同而变化。为了保证良好的成品率并为MEMS设计者提供有效的工艺参数，微加工工艺线必须对薄膜的材料参数进行精确的测量。
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- 李巧萍
- 关键词：电学参数
- 文献传递
- 基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统
- 本文建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.
- 李巧萍李伟华
- 关键词：MEMS数据采集
- 文献传递
- MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计
- 2007年
- 为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统。该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力。测试系统最大可测试100V的吸合电压,测试精度为±1.0V。最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求。
- 李巧萍李伟华聂萌刘祖韬
- 关键词：MEMS数据采集
- 基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统被引量：1
- 2006年
- 建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.
- 李巧萍李伟华
- 关键词：MEMS数据采集
