杨尚林 作品数:14 被引量:42 H指数:4 供职机构: 北方民族大学电气信息工程学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家教育部博士点基金 西北工业大学研究生创业种子基金 更多>> 相关领域: 电气工程 自动化与计算机技术 电子电信 化学工程 更多>>
一种多孔薄膜铁芯的制备方法 本发明公开了一种多孔薄膜铁芯的制备方法,其特点是包括以下步骤:(a)用丙酮对Si(111)单晶进行超声清洗,然后用无水乙醇再次超声清洗,用去离子水反复冲洗,干燥后将硅基片置于衬底台上;(b)将沉积系统抽真空后加热衬底,使... 刘诗斌 吕辉 郭博 杨尚林文献传递 低功耗微型磁通门结构优化设计 被引量:2 2014年 为了降低微型磁通门功耗对微型磁通门的结构进行优化设计,通过仿真方法研究了微型磁通门的铁芯形状及绕线方式对磁通门激励电流和输出信号的影响。对缩比结构微型磁通门进行改进,提出一种采用多孔铁芯结合激励线圈/感应线圈交错缠绕的微型磁通门结构,可以有效降低微型磁通门传感器的激励电流从而降低磁通门功耗。与已报道的经过优化设计的缩比结构微型磁通门相比,引起的漏磁较小,能更有效地降低激励电流并提高灵敏度。 郭博 刘诗斌 侯亚科 李菊萍 杨尚林 侯晓伟关键词:多孔结构 有限元分析 低功耗 用于电流测量的柔性基底磁通门传感器 被引量:2 2020年 得益于可折叠弯曲的特性,在柔性基底上制备的磁通门传感器近年来得到人们的关注。在用于电流测量时,柔性结构可以在不断开电流导体的情况下,通过打开-闭合方式将导体包裹在铁芯中间,提高测量效率。然而,磁通门中的核心部件——铁芯,在弯曲之后会展现出不同的磁特性,进而影响磁通门性能。本文采用钴基非晶带材作为磁通门铁芯,研究了一种可用于电流测量的柔性磁通门制备方法,通过仿真和实物测量两种方式研究了铁芯弯曲与否对柔性磁通门性能的影响。结果表明,这种采用钴基非晶带材作为铁芯的柔性磁通门传感器展现出了非常优异的性能。其弯曲成环形之后,退磁效应下降带来的积极影响远大于铁芯磁性能下降带来的消极影响,其灵敏度不但未下降反而有大幅提高。将传感器多次弯曲后,其灵敏度和线性范围没有大的变化。因此,这种可弯曲的柔性基底磁通门适用于电流测量。 郭博 杨尚林 刘诗斌 王天鑫关键词:传感器 MEMS 聚酰亚胺 一种多孔铁芯结构微型磁通门传感器 本发明公开了一种采用多孔铁芯的微型磁通门传感器。硅基底(1)作为衬底支撑层;激励线圈(2)和感应线圈(3)采用三维螺线管结构,由两端通孔(4)连通上下层;铁芯(5)采用软磁材料、多孔结构,铁芯上的孔将铁芯分割形成多组局部... 刘诗斌 郭博 杨尚林文献传递 微型线圈-铁芯结构传感器中聚酰亚胺的低成本刻蚀和平坦化方法 被引量:2 2013年 研究了预亚胺化温度、时间以及刻蚀时间对聚酰亚胺湿法刻蚀结果的影响。预亚胺化后2.5μm厚的PI-5型聚酰亚胺采用EPG 533型光刻胶作为掩膜时,预亚胺化采用90℃/5 min^140℃/10 min方案,采用1%KOH溶液,15 s的显影/刻蚀时间会得到较好的刻蚀结果。在此基础上,通过实验研究了一种低成本的填充式平坦化技术。通过在底层线圈上旋涂第1层聚酰亚胺,湿法刻蚀去除铜线上的聚酰亚胺保留间隙中聚酰亚胺,然后再旋涂第2层聚酰亚胺的方式,完成了第2层聚酰亚胺的平坦化。与直接在底层线圈上旋涂聚酰亚胺而不做平坦化处理比较,起伏高度差从1.8μm降低到150 nm,且起伏缓慢、无明显台阶。应用这种技术制备了一种采用线圈铁芯结构的微型磁通门传感器并进行了测试,传感器工作正常,性能优良。 郭博 刘诗斌 段红亮 杨尚林 侯晓伟关键词:平坦化 湿法刻蚀 聚酰亚胺 基于等效铁芯电感的磁通门HSPICE分析模型 被引量:4 2016年 提出了一种基于随电流变化的铁芯电感的磁通门HSPICE(High Simulation Program with IC Emphasis)模型,该磁通门模型铁芯的磁滞回线使用反正切函数来描述,其激励与测量线圈等效为一种随电流变化的电感电路模型。本文给出了全电路元件的磁通门模型的参数及提取方法,此模型可以在任意形状的电压激励波形下仿真,与已有的磁通门模型相比,具有仿真精度高、需要参数少且计算容易和可以方便进行输出信号处理的特点。实验和仿真结果对比表明,双铁芯磁通门HSPICE模型仿真的输入电流和输出电压的幅值分别为146 m A和1.03 V,与实际测试的146.6 m A和1.177 V相比,输入电流有0.6 m A的误差,输出电压有0.147 V的误差。 崔智军 杨尚林关键词:磁通门传感器 磁滞回线 非线性电感 磁通门的数值分析与HSPICE仿真 被引量:7 2013年 针对电压源激励和非正弦波激励在传统分析计算中存在的难题,提出了一种基于HSPICE的磁通门计算和仿真方法。磁通门铁芯用考虑磁滞现象的JA-Brachtendorf模型描述,而传统的JA-Brachtendorf模型参数的提取方法需要很多实验数据。运用一种简单的计算方法利用较少的试验数据先得到JA模型的数据,再由JA模型数据得到JA-Brachtendorf模型的参数。最后通过实例用HSPICE仿真考察电压源激励方式下磁通门各种物理量的波形、量值,与实验结果符合得很好。 侯晓伟 刘诗斌 李菊萍 杨尚林 郭博关键词:磁通门传感器 磁滞回线 HSPICE 铁芯参数对磁通门输入输出特性影响分析 被引量:13 2014年 针对磁通门需要什么参数的软磁铁芯的问题,在分析磁通门数学模型基础上,得出了正弦激励条件下磁通门的最佳激励磁场为铁芯饱和磁场强度的槡2倍;以带磁滞的双曲正切函数拟合软磁材料磁滞回线,分析了饱和磁感应强度、饱和磁场强度、矫顽力、矩形比和退磁系数对输出二次谐波幅值和激励电流的影响,得出高灵敏度磁通门铁芯应具有高磁导率和矩形比,低饱和磁场强度、矫顽力和退磁系数;低功耗磁通门铁芯应具有高磁导率,适当的矩形比,低饱和磁感应强度、饱和磁场强度、矫顽力和退磁系数;最后通过对比两组六种不同铁芯的磁滞回线和双铁芯磁通门输入输出特性,验证了以上结论的正确性。 杨尚林 刘诗斌 郭博 李学亮 秋颂松关键词:磁通门传感器 磁滞回线 微型正交激励磁通门结构设计 被引量:8 2014年 利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1.7 mW的超低功耗得到91.6 V/T的输出灵敏度。 郭博 刘诗斌 杨尚林关键词:电子科学与技术 低功耗 用于低功耗微型磁通门的Co_(77)Fe_(2.5)Mn_(1.4)Mo_(2.1)Si_(13)B_4非晶薄膜研究 被引量:1 2013年 采用直流磁控溅射方法制备了一种适用于微型磁通门的Co77Fe2.5Mn1.4Mo2.1Si13B4非晶软磁铁芯薄膜,并对薄膜进行了200℃外加面内横向磁场的真空退火。利用振动样品磁强计(VSM)、X射线扫描仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)测试了薄膜的磁滞回线、相组成、表面形貌并进行了成分分析;使用制备得到的薄膜作为双铁芯磁通门的铁芯,测试了磁通门的激励电流、灵敏度和线性范围。结果表明,制备得到的薄膜主要呈非晶态,具有较大的相对磁导率并且磁滞回线在小磁场下出现明显的拐点;用作磁通门铁芯薄膜时,能得到类似使用Co基非晶带材铁芯时的明显的磁通门信号;工作在40kHz时,磁通门传感器能以有效值22mA的激励电流获得2700V/T的输出电压灵敏度。因此,制备得到的薄膜适用于低功耗、高灵敏度微型磁通门传感器。 郭博 刘诗斌 杨尚林 李菊萍 侯晓伟关键词:磁控溅射