沈益军
- 作品数：13 被引量：15H指数：3
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- 重掺硅中氧的测定被引量：5
- 2001年
- 研究了重掺硅中氧的测定 ,实验首先选用轻掺 (ρ>10Ω· cm)样品分别用气体熔化分析法 (GFA法 )和傅里叶变换红外法 (FTIR法 )测氧 ,而后用 GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度 .实验发现用 GFA法和 FTIR法测氧 ,二者的结果成很好的线性关系 ,为便于比较可将重掺硅在 GFA法下的测定结果转换为 FTIR法下的测定结果 ,还对影响 GFA法测定结果的样品制取、样品处理。
- 刘培东黄笑容沈益军李立本阙端麟
- 关键词：硅中氧红外光谱
- 氮气氛生长氮浓度可控微氮直拉硅单晶的方法
- 本发明公开的氮气氛生长氮浓度可控微氮直拉硅单晶的方法包括多晶硅的融化，种籽晶，放肩、生长、收尾、冷却全过程，其特征是：先将多晶硅在高纯氩气保护下，升温融化，待多晶硅融化后，将保护气从高纯氩气转化为高纯氮气，高纯氮气的压力...
- 杨德仁李立本田达晰马向阳沈益军阙端麟
- 文献传递
- 氮气氛生长氮浓度可控微氮硅单晶的方法
- 本发明公开的氮气氛生长氮浓度可控微氮硅单晶的方法是:先将多晶硅在高纯氩气保护下,升温融化,待多晶硅融化后,将保护气从高纯氩气转化为高纯氮气,高纯氮气的压力为5～200Torr,流量在1～200l/min,在氮气通入1～6...
- 杨德仁李立本田达晰马向阳沈益军阙端麟
- 文献传递
- 直拉硅单晶生长的重掺杂方法
- 本发明公开了一种直拉硅单晶生长的重掺杂方法。其步骤如下：1)用高纯硅做成“伞形”掺杂器，“伞柄”即为籽晶；2)将“伞形”掺杂器倒夹在籽晶夹头上；3)掺杂剂倒入掺杂器内；4)待多晶硅熔化后，下降籽晶，使掺杂器浸入硅熔体内。...
- 沈益军马向阳田达晰李立本阙端麟
- 文献传递
- 大直径直拉硅单晶体内氧沉淀的长大对FPD的影响
- 本文主要研究了大直径硅单晶体中氧沉淀的长大对空洞型原生缺陷(FPD)的影响,在此基础上的讨论了空洞型原生缺陷的消除机理.实验结果表明了硅单晶体内氧沉淀的长大对晶体体内空洞型原生缺陷(FPD)无影响,这是由于在硅晶体体内,...
- 余学功杨德仁马向阳田达晰沈益军李立本阙端麟
- 关键词：单晶硅氧沉淀氧化膜
- 文献传递
- 一种微量掺锗直拉硅单晶
- 本发明的微量掺锗直拉硅单晶,它含有浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>21</Sup>/cm<Sup>3</Sup>的磷或硼或砷或锑,浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>2...
- 杨德仁马向阳田达晰沈益军李立本阙端麟
- 文献传递
- 一种具有晶格补偿的重掺硼硅单晶衬底
- 本发明的具有晶格补偿的重掺硼硅单晶衬底含有浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>21</Sup>/cm<Sup>3</Sup>的硼，浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>21<...
- 杨德仁马向阳田达晰沈益军李立本阙端麟
- 文献传递
- 高碳CZ硅中氧沉淀的两种成核长大机制被引量：1
- 2005年
- 应用红外光谱、高分辨透射电镜研究了高碳CZ硅中的氧沉淀．实验表明：高碳样品中有两种成核长大机制形成的氧沉淀，一是多碳中心的异质成核长大的氧沉淀，碳原子同时参与氧沉淀的成核和长大，红外光谱上1230cm^-1处无氧沉淀的特征峰，TEM观察这种氧沉淀是10～30nm高密度的球状小沉淀；另一种氧沉淀类似于低碳样品中均匀成核长大的氧沉淀，它在红外光谱上1230cm^-1处有吸收峰，TEM观察这种氧沉淀是100～300nm各种形态的大沉淀．热处理条件不同可以改变两种机制相互竞争的优势，低于900℃的热处理以异质成核为主，而只有经过1200℃高温预处理破坏异质核心后，再在900℃以上热处理时，均匀成核长大的氧沉淀才会占优势．
- 刘培东姜益群黄笑容沈益军李立本阙端麟
- 关键词：氧沉淀直拉硅硅中氧
- 直拉重掺硼硅单晶的研究进展被引量：3
- 2003年
- 系统介绍了直拉重掺硼 (B)硅单晶研究的最新进展。主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质 ,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术 ,重掺B硅单晶的机械性能 ,重掺B硅单晶中的氧和氧沉淀 ,以及B的大量掺杂与大直径直拉硅单晶中空洞型 (Void)原生缺陷的控制关系。在此基础上 。
- 李春龙沈益军杨德仁马向阳余学功阙端麟
- 关键词：直拉硅氧缩颈
- 一种微量掺锗直拉硅单晶
- 本发明的微量掺锗直拉硅单晶，它含有浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>21</Sup>/cm<Sup>3</Sup>的磷或硼或砷或锑，浓度为1×10<Sup>13</Sup>～1×10<Sup>2...
- 杨德仁马向阳田达晰沈益军李立本阙端麟
- 文献传递
