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游凤祥
作品数:
2
被引量:10
H指数:2
供职机构:
清华大学理学院化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
洪啸吟
清华大学理学院化学系
陈明
清华大学理学院化学系
卢建平
清华大学理学院化学系
王慧
清华大学理学院化学系
陈其道
清华大学理学院化学系
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2篇
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1篇
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抗蚀剂
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活性
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光刻
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光致
1篇
光致抗蚀剂
机构
2篇
清华大学
作者
2篇
游凤祥
2篇
洪啸吟
1篇
李元昌
1篇
陈其道
1篇
王慧
1篇
卢建平
1篇
陈明
传媒
1篇
感光科学与光...
1篇
涂料工业
年份
1篇
1998
1篇
1996
共
2
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活性微凝胶的制备、性能及其在涂料中的应用
被引量:5
1996年
活性微凝胶是指表面具有反应基团的特殊微凝胶,通过聚合反应和后处理,可在微凝胶中引入羧基、羟基、磺酸基、氨基等反应性基团。通过溶液聚合、沉淀聚合和乳液聚合等方法制备微凝胶。微凝胶可提高涂料的固含量,改善涂料的流变性能,提高涂料固化速度,以及改进水溶性涂料的施工性和耐久性。
陈其道
游凤祥
洪啸吟
关键词:
涂料
凝胶
活性
高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备
被引量:5
1998年
本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚体,并将其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中,并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件,得到了分辨率为1.39μm的光刻图形.
王慧
游凤祥
陈明
李元昌
卢建平
洪啸吟
黄志齐
胡德甫
关键词:
光致抗蚀剂
光刻
抗蚀剂
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