潘冀生
- 作品数：19 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海原子核研究所上海应用物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术电子电信更多>>
- 溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究
- 1991年
- 27keV的Ar^+离子垂直轰击处于不同温度的Cd靶,用捕获膜技术和Rutherford背散射谱仪(RBS)测定溅射原子角分布,并对所有样品的靶点形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现,所有的角分布都呈over-cosine形状,但是在极角为0°处实验值与cosine值的偏离,是不同的,在靶温度为150℃时的偏离T小于在室温时的偏离R,亦即T
- 王震遐潘冀生陶振兰章骥平张慧明张伟坪卢兆伦
- 关键词：角分布靶点表面形貌
- AlxSn100—x合金系统的Ar^＋溅射研究被引量：1
- 1994年
- 用捕获膜和卢瑟福背散射技术给出了３０ｋｅＶＡｒ＋轰击ＡｌｘＳｎ１００－ｘ合金系统（Ｘ＝９０，７０，５０，３０，１０）溅射Ｓｎ和Ａｌ原子的角分布及其择优溅射变化。提出一个考虑靶点表面形貌和元素局域富集对发射原子影响的模型，分析结果和实验数据符合较好．
- 王震遐章骥平潘冀生陶振兰朱福英张慧明曾跃武
- 关键词：溅射合金铝锡合金
- Cu－37at％ Ag共晶合金的离子溅射研究
- 1994年
- 侧重研究了入射Ａｒ＋离子不同剂量轰击时表面微形貌和溅射原子角分布之间的关联，并建议用“元素按靶点表面微形貌特征局域富集模型”来解释溅射原子角分布形状以及择优溅射曲线的变化；发现其结果与实验相符合。
- 王震遐潘冀生章骥平陶振兰朱福英赵烈张慧明
- 关键词：角分布溅射表面形貌合金
- 27keVAr^+轰击Mg-Ni共晶合金表面引起的氢化效应增强被引量：1
- 1998年
- 研究发现２７ｋｅＶＡｒ＋轰击Ｍｇ－Ｎｉ合金表面引起的氢化效应增强与束流剂量有关，建议用催化相表面变化模型来讨论由离子轰击引起的氢化增强现象．
- 王震遐潘冀生章骥平章骥平朱京平许浔江
- 关键词：离子轰击储氢合金氩离子
- Al-Sn合金表面元素深度分布的局域性
- 1994年
- 利用微束卢瑟福背散射能谱（Ｍ－ＲＢＳ）分析方法，对Ａｌ＿（７０）Ｓｎ＿（３０）合金表面的两种微相区（Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区），在２７ｋｅＶＡｒ￣＋离子轰击（总剂量为１．４×１０￣（１８）Ａｒ￣＋／ｃｍ￣２）前后，分别测定了Ｓｎ原子的深度分布。实验结果表明，在Ａｌ富集相区和Ｓｎ富集相区之间，以及各相区在离子溅射前后，Ｓｎ原子浓度深度分布曲线是不相同的。
- 王震遐潘冀生章骥平朱福英
- 关键词：多元合金局域性铝锡合金
- 离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响
- 1991年
- 用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)谱仪测定Ag靶在27keV Ar^+离子轰击下的溅射原子角分布,从而确定不同剂量下Ag的溅射产额,并对其靶点表面形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现,所有的角分布都呈over-cosine形状,但其溅射产额却随着表面形貌不同而不同。根据溅射产额Y与轰击离子入射角φ变化关系,讨论不同轰击剂量下溅射产额的差别,肯定了表面形貌是影响溅射产额的一个重要因素,并由此提出“表观产额”的新概念。
- 潘冀生王震遐陶振兰章骥平张慧明赵烈
- 关键词：离子轰击表面形貌AG
- 27keVAr^+离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究
- 1989年
- 本文报道在27keV Ar^+离子轰击Fe-W(30wt.％)合金情况下,溅射Fe和W原子的角分布实验结果。用卢瑟福背散射(RBS)谱仪分析了不同发射角θ处溅射沉积在衬底上的Fe-W薄膜的成分。结果表明,角分布形状均为over-cosine型,且W原子对Fe原子的比值与发射角θ有关。与我们以前关于Cu-Au合金和Ti-Ni合金的结果比较,暗示择优溅射程度可能与合金成分的质量比值有关。简单的模型分析发现,靶表面形貌是引起溅射原子角分布变化的重要因素。
- 王震遐郑里平陶振兰潘冀生
- 关键词：角分布表面形貌
- 合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应
- 1992年
- 用27keV Ar^+离子对Ni-50wt％ Ti,Fe-30wt％ W和Ag-50wt％ Cu合金进行溅射,发现Ti,Fe和Ag原子在小角区择优发射。与此同时,扫描电子显微镜(SEM)结合电子探针微分析(EPMA)显示所有样品的靶点表面形貌均由凸起和凹陷两种微区组成的特征,并且各种微区具有不同的元素富集。用据此提出的模型对各合金组分的溅射原子角度择优发射特点进行分析,得到了与实验符合的结果。
- 王震遐潘冀生章骥平陶振兰
- 关键词：离子合金溅射角分布
- 离子溅射诱发单相合金Cu—12at．％Au表面“元素局域富集”
- 1994年
- 用扫描电子显微镜结合电子探针微分析（ＳＥＭ／ＥＰＭＡ）技术测定了溅射诱发的靶点表面成份变化，观察了表面形貌结构凸起和凹陷处的成分差别．实验结果表明．单相合金Ｃｕ－１２ａｔ．％Ａｕ在３０ｋｅＶＡｒ＋离子溅射过程中产生了“表面元素局域富集”现象。根据“溅射－形貌增强元素局域富集模型”，它包括元素局域富集初级阶段和毛细压力发生的选择性诱发力的作用．并据此对实验结果进行了讨论。
- 王震遐章骥平潘冀生陶振兰朱福英张慧明赵烈
- 关键词：溅射单相合金
- 三元合金Cu＿（76）Ni＿（15）Sn＿9的离子溅射研究被引量：2
- 1994年
- 在２７ｋｅＶＡｒ＿＋离子轰击时，用收集膜技术结合俄歇谱仪（ＡＥＳ），研究了三元合金Ｃｕ＿（７６）Ｎｉ＿（１５）Ｓｎ＿９系统的择优溅射行为。同时使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）与电子探针微分析（ＥＰＭＡ）．观察了靶点表面形貌变化并测定了形貌特征微区的合金组份原子的相对百分浓度。结果表明，Ｃｕ原子较Ｎｉ原子、Ｎｉ原子较Ｓｎ原子，在所测定范围（０─６０°）内择优发射。最后讨论了靶点表面形貌特征和“元素局域富集”现象对择优溅射过程的影响。
- 王震遐潘冀生章骥平王传珊李欣年周树鑫罗文芸张慧明曾跃武赵烈
- 关键词：离子溅射AESEPMA
