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王兵
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国工程物理研究院
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相关领域:
理学
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合作作者
贺小明
清华大学材料科学与工程系
赖祖武
中国工程物理研究院
李文治
清华大学材料科学与工程系
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贺小明
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年份
1篇
1996
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轰击能量对离子束增强沉积Cr-N薄膜微观结构和硬度的影响
被引量:3
1996年
采用离子束增强沉积(IBED)技术,在不同能量氮离子的辅助轰击下制备了Cr-N薄膜;通过SEM观察、XRD分析和显微硬度测定,发现离子轰击能量对Cr-N薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响:随着能量的升高,膜表面形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状;一定能量轰击下获得的Cr2N和CrN混相结构有最高的薄膜硬度;高达16keV的氮离子轰击可诱发非晶化的出现,并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰击能量对合成Cr-N薄膜结构与性能的影响效应。
王兵
赖祖武
江崇滨
李文治
贺小明
关键词:
离子束增强沉积
氮化铬
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