章闻奇
- 作品数：6 被引量：4H指数：1
- 供职机构：南京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 在锗衬底上原子层沉积二氧化铪使用三种不同的前躯体
- 李学飞付盈盈李爱东刘晓杰章闻奇吴迪
- 关键词：原子层沉积氧化铪高介电常数材料
- 几种微电子材料的制备、表征与性能研究
- 在对更快、更小和更高性能的电子设备的需求驱动下,微电子工业高速发展。集成电路的特征尺寸以及用于不同电路之间连接的印刷电路板的尺寸都在不断缩小,使得很多传统微电子材料与技术都面临巨大的挑战,需要通过新材料、新技术的研究与应...
- 章闻奇
- 关键词：原子层沉积化学气相沉积背散射电子衍射电镀铜
- 文献传递
- 二氧化钛纳米棒阵列的取向研究被引量：3
- 2006年
- 利用微波水热法,以TiC l3为前驱物,成功地制备了金红石相的TiO2纳米棒。在特定的反应条件下,这些纳米棒自发聚集成大面积的取向阵列。纳米棒的平均直径约50 nm,而且从扫描和透射电镜分析可知,它们是由约5 nm的纳米线组成的。利用电子背散射衍射技术(EBSD),对该样品中纳米棒的晶体学取向进行了研究,进而对生长机理进行了讨论。
- 马国斌朱健民章闻奇王牧闵乃本
- 关键词：EBSDTIO2纳米棒
- 一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用
- 本发明公开了一种无水铪锆复合硝酸盐的合成方法及其在ALD方法沉积高介电复合氧化物薄膜中的应用，该合成方法首先是将发烟硝酸和五氧化二磷反应，产生的氮氧化物气体在低温下成为固态五氧化二氮；使固态五氧化二氮逐渐液化，伴随四氧化...
- 李爱东章闻奇黄柳英邵起越吴迪
- 文献传递
- 一种在锗衬底上低温原子层沉积Hf基栅介质薄膜的方法
- 本发明公开了一种在锗衬底上低温原子层沉积Hf基栅介质薄膜的方法，首先对锗衬底进行清洗、钝化；将钝化好的衬底放入ALD反应室中，温度为140-170℃，以三甲基铝Al(CH<Sub>3</Sub>)<Sub>3</Sub>...
- 李学飞李爱东章闻奇刘晓杰付盈盈吴迪
- 文献传递
- 一种在锗衬底上低温原子层沉积Hf基栅介质薄膜的方法
- 本发明公开了一种在锗衬底上低温原子层沉积Hf基栅介质薄膜的方法，首先对锗衬底进行清洗、钝化；将钝化好的衬底放入ALD反应室中，温度为140-170℃，以三甲基铝Al(CH<Sub>3</Sub>)<Sub>3</Sub>...
- 李学飞李爱东章闻奇刘晓杰付盈盈吴迪
