胡鹏
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
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- 纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术研究
- 纵观国内外近几年的研究,TiO作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转换器...
- 陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟
- 关键词：TIO2薄膜
- 纳米TiO_2薄膜的低温等离子体制备技术研究
- 纵观国内外近几年的研究,TiO_2作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转...
- 陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟
- 关键词：TIO_2薄膜
- 文献传递
- 纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术被引量：3
- 2010年
- 以四氯化钛为源物质,氩气为载气,氧气为反应气体,利用低温等离子体增强化学气相沉积在硅基表面制备出了TiO2薄膜。使用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等检测分析表征TiO2薄膜的性能与性质,并探讨了工艺条件如基片材料、沉积时间和基片温度对薄膜性能的影响。结果表明:制备的薄膜表面光滑均匀,结构致密,最小晶粒尺寸约15 nm;薄膜的晶型主要依赖于沉积温度,低于300℃沉积的薄膜是无定形的,300℃之上沉积的薄膜是锐钛矿结构。
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- 关键词：等离子体化学气相沉积二氧化钛薄膜表面形貌光学性能
