范小燕
- 作品数：10 被引量：8H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
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- MEMS微波功率传感器的研究与进展被引量：4
- 2005年
- 介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展,包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元,对这些基本单元分别作了分析,并给出了这些基本单元和总体结构的性能指标,同时介绍了Si和GaAs衬底上制备微波功率传感器的主要工艺。
- 范小燕廖小平黄庆安
- 关键词：功率传感器MEMSGAAS衬底总体结构热堆
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器是利用终端负载的形式实现功率－热量－电压的转换方式测得微波功率的微电子机械结构产品，在衬底(5)上设有共面波导(1)和热电堆(3)，在共面波导和热电堆的内端上面设有终端电阻(2)，在热电...
- 廖小平范小燕
- 文献传递
- 终端式MEMS微波功率传感器的结构模拟被引量：2
- 2006年
- 在工艺流程以及材料选择的基础上,用Coventorware和HFSS对间接加热终端式MEMS微波功率传感器进行了模拟与设计。模拟结果包括共面波导(CPW)与终端电阻上的温度分布,以及热电堆的接近对CPW性能的影响。确定了热偶对数为50,热电堆与CPW之间的距离为50μm,并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂,TaN作终端电阻。
- 范小燕廖小平
- 关键词：电子技术共面波导终端电阻热电堆MEMS传感器
- 数字图书馆著作权合理使用问题探析
- 著作权是一种民事权利，是著作权人的一种私权，具有专有性。但任何一种权利都不是无限绝对的，当它与更值得受法律保护的社会公共利益冲突时将会受到限制。数字图书馆著作权合理使用制度正是在对著作权人专有权利限制的基础上设定的，它基...
- 范小燕
- 关键词：数字图书馆著作权法律保护
- 间接加热式MEMS微波功率传感器的研究
- 本文介绍的是间接加热式微波功率传感器。首先设计了间接加热式微波功率传感器的结构。在此过程中，研究了间接加热式微波功率传感器的基本工作原理，确定了传感器性能参数与具体几何尺寸的关系，设计和进一步优化了此传感器;根据对传感器...
- 范小燕
- 关键词：微机电系统微波功率传感器共面波导终端电阻
- 文献传递
- 基于数字图像处理的单火枪燃烧诊断系统的研究与开发
- 火焰检测系统的可靠程度是保证电站锅炉安全性的重要方面。本文在总结现有火焰燃烧诊断技术的基础上，根据煤粉燃烧理论，并结合现场实际情况，提出“虚拟火焰锋面存在”、“虚拟火焰锋面位置的窜动”以及“虚拟火焰锋面位置前后梯度值的变...
- 范小燕
- 关键词：电站锅炉煤粉燃烧燃烧系统数字图像计算机图像处理
- 文献传递
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法是利用终端负载的形式实现功率-热量-电压的转换方式测得微波功率的微电子机械结构产品及其制备方法，在结构上，衬底上设有共面波导和热电堆，在共面波导和热电堆的内端上面设有终端电阻...
- 廖小平范小燕
- 文献传递
- 间接加热终端式MEMS微波功率传感器的温度模拟被引量：1
- 2005年
- 在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器结构和工艺的基础上,用Coventorware软件和ANSYS软件对其温度分布进行了模拟,根据热电堆的放置位置不同,分别对热电堆处于终端电阻的下方(结构A)、上方(结构B)和外侧(结构C)三种结构进行了模拟和比较,最后采用了热电堆处于终端电阻下方的结构,热电堆的热端可以测得的温度范围为417.7～419.2K。
- 廖小平范小燕
- 关键词：共面波导终端电阻热电堆微机电系统传感器
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
- 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法是利用终端负载的形式实现功率—热量—电压的转换方式测得微波功率的微电子机械结构产品及其制备方法，在结构上，衬底上设有共面波导和热电堆，在共面波导和热电堆的内端上面设有终端电阻...
- 廖小平范小燕
- 文献传递
- 间接加热式MEMS微波功率传感器的模拟与设计
- 2006年
- 在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上,对其基本单元:共面波导(CPW)、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计,用软件HFSS进行了模拟,模拟结果包括共面波导与接触垫间的阻抗匹配的分析以及热电偶的数目和热电堆的接近对CPW性能影响的分析。根据这些模拟结果,传感器中接触垫与共面波导之间的渐进区长度设计为150μm,热电偶的对数设计为50对,热电堆与CPW之间的距离设计为50μm,并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂,TaN作终端电阻。
- 廖小平范小燕
- 关键词：共面波导终端电阻热电堆MEMS传感器
