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谭鑫
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77
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H指数:7
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
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合作作者
巴音贺希格
中国科学院长春光学精密机械与物...
李文昊
中国科学院长春光学精密机械与物...
齐向东
中国科学院长春光学精密机械与物...
许亮
中国科学院长春光学精密机械与物...
吴娜
中国科学院长春光学精密机械与物...
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谭鑫
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一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法
本发明提供了一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法,包括以下步骤:S1、确定层析显微光路系统中待校正的像差;S2、根据待校正的像差的分布,利用第一曝光点和第二曝光点的坐标确定二次相位离轴菲涅尔波带片的栅线分布。本发明提供的...
谭鑫
杨琳
焦庆斌
马振予
衍射光学元件的复制方法
本发明提供一种衍射光学元件的复制方法,包括如下步骤:S1、在母版衍射光学元件的图形表面涂覆一层润滑油;S2、在涂覆润滑油的图形表面涂覆一层紫外固化胶;S3、将基底置于涂覆紫外固化胶的图形表面,并采用紫外光照射,使紫外固化...
谭鑫
焦庆斌
马振予
刘思琪
分裂椭圆型超表面折射率传感器及其制备方法
本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种分裂椭圆型超表面折射率传感器及其制备方法,传感器包括:基底和全介质超表面结构阵列;全介质超表面结构阵列包括多个全介质超表面单元结构,多个全介质超表面单元结构周期性的排列在基底上,全介质...
谭鑫
王天钰
焦庆斌
刘思琪
姜思佳
马顶
申文浩
王泽彪
张明乐
谢红钰
基于近红外光谱技术的可溶性膳食纤维快速检测方法
本发明提供一种基于近红外光谱技术的可溶性膳食纤维快速检测方法,包括以下步骤:S1、对标准样品和待测样品分別进行光谱采集;S2、对采集的光谱数据进行预处理;S3、根据标准样品的光谱数据建立标准光谱库和定量分析模型;S4、将...
谭鑫
张薇
冯长有
马振予
焦庆斌
刘思琪
裴健
李宇航
李徽
杨琳
邹宇博
张嘉航
文献传递
反向驱动可调谐F-P滤波器
本发明提供一种反向驱动可调谐F‑P滤波器及其制备方法,滤波器包括静镜、动镜、支撑桥墩、微桥、电极支撑结构和顶部电极;其中,支撑桥墩制备在静镜上,支撑桥墩与静镜之间形成空腔;动镜位于空腔内,动镜与静镜之间形成F‑P谐振腔,...
谭鑫
刘思琪
焦庆斌
马振予
基于光场波前相位调制的AR衍射光波导装置
本发明提供一种基于光场波前相位调制的AR衍射光波导装置,包括:光源、耦合出射光栅、第一衍射光学元件、第二衍射光学元件和波导;光源发出具有初始波前的入射光束对第一衍射光学元件进行照射,经过调制后形成平面波前并垂直入射至第二...
谭鑫
张嘉航
焦庆斌
马振予
确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法
确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法,属于光谱技术领域,解决了现有技术确定单晶硅湿法刻蚀刻蚀截止点重复性差、精度低的问题。本发明的方法包括以下步骤:(1)构建一套包括单晶硅湿法刻蚀反应以及检测痕量氢气的装置...
焦庆斌
谭鑫
巴音贺希格
齐向东
一种偏振器
本发明提供的偏振器包括激发层、双曲色散材料层、平坦化层、出射层及基底层,宽波段的光波经所述激发层激发产生高空间波矢衍射光,所述高空间波矢衍射光进入所述双曲色散材料层,所述双曲色散材料层对入射的高空间波矢衍射光中宽波段TM...
张伟
李文昊
谭鑫
吴娜
焦庆斌
杨硕
姜岩秀
文献传递
电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测
2019年
在使用电铸方法制作金属光栅时,采用传统的计时电铸方法常常不能保证金属栅条具有精确的沉积厚度。为了能够实时监测光栅栅条的沉积厚度,以实现电铸截止时刻的精确判断,建立了基于衍射效率判断金属沉积厚度的在线监测系统。采用严格耦合波理论计算了Au在光刻胶沟槽中进行沉积时,衍射效率随Au沉积厚度的变化规律,并讨论了光刻胶占宽比、电铸电流密度对衍射效率的影响;计算了电铸池、镀液对监测激光能量造成的损耗。实验得到的效率曲线与仿真结果相一致;电铸池、镀液对光能的损耗达94.88%。实验结果表明,采用在线监测方法实时判断金属沉积厚度是合理有效的;光刻胶占宽比对在线监测影响不大;电铸电流密度对在线监测有影响,且电流密度越高越有利于截止点的判断。
朱春霖
胡昊
焦庆斌
谭鑫
巴音贺希格
关键词:
金属光栅
在线监测
严格耦合波理论
电流密度
能量损耗
调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅线与束流垂直度的方法
调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅线与束流垂直度的方法,涉及光谱技术领域,解决现有调整离子束与光栅刻线方向垂直度的方法存在垂直度精度较低且存在误差的问题,建立离子束刻蚀装置;制备刻有两条正交直线及开有中心圆孔的平板;在离子束...
谭鑫
吴娜
巴音贺希格
齐向东
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