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赵晨光

作品数：13 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇位相
  • 4篇回转轴
  • 4篇激光
  • 4篇激光直写
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射透镜
  • 2篇移相
  • 2篇直线驱动
  • 2篇直线驱动器
  • 2篇入射
  • 2篇入射光
  • 2篇透镜
  • 2篇气浮
  • 2篇气浮导轨
  • 2篇气浮台
  • 2篇驱动器
  • 2篇子孔径
  • 2篇子孔径拼接

机构

  • 13篇哈尔滨工业大...

作者

  • 13篇赵晨光
  • 12篇刘俭
  • 12篇谭久彬
  • 6篇王伟波
  • 4篇刘涛
  • 4篇邱丽蓉
  • 4篇杨文国
  • 4篇邹丽敏
  • 4篇金国良
  • 2篇刘忠源
  • 2篇朱黎明
  • 2篇王宇航
  • 2篇金鹏

年份

  • 3篇2010
  • 5篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2005
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法
本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精...
谭久彬刘俭杨文国金国良邱丽蓉邹丽敏赵晨光
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极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法
本发明公开了一种极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一...
刘俭谭久彬杨文国金国良邱丽蓉邹丽敏赵晨光
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双位相复合超分辨光瞳滤波方法与装置
本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第一、第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化...
谭久彬刘俭金鹏赵晨光
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同步移相干涉共焦显微成像技术研究
随着微电子、微系统、微光学等技术的发展，针对微米、亚微米尺度微结构进行三维精密测量的技术需求日益迫切。在现有各项微结构三维测量技术中共焦扫描显微测量技术以其独特的光学层析能力与高横向分辨力特性，引起了广泛的关注。然而共焦...
赵晨光
关键词：微结构
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超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法
本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精...
谭久彬刘俭杨文国金国良邱丽蓉邹丽敏赵晨光
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瞬间移相干涉二次共焦测量装置与方法
瞬间移相干涉二次共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；其装置包括同步移相模块，在该模块三侧分别配置完全相同的由收集物镜、探测针孔和光电探测器组成的干涉信号接收装置；在第一和第二两种共焦测量状态下，控制...
刘俭谭久彬刘涛赵晨光王伟波
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基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法
基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法属于成像光谱技术领域；该装置包括衍射透镜、由挡光板、Nipkow盘及微透镜阵列盘组成的层析及成像系统、探测器、相对位置固定机构、第一及第二旋转驱动机构、直线驱动器；相对位置固定...
刘俭刘忠源谭久彬王伟波刘涛赵晨光
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双位相复合超分辨光瞳滤波方法与装置
本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化位相分...
谭久彬刘俭金鹏赵晨光
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基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置
基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置属于光学检测技术领域；在隔振基座上安装有球形气浮台和龙门支架，直线气浮导轨固定在龙门支架中央部位处，直线气浮导轨下端配置有光学波面干涉仪；球形气浮台由球形气浮轴、气浮轴基座、旋转电...
谭久彬王伟波刘俭赵晨光王宇航朱黎明
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移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法
移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；由显微物镜和CCD相机组成软针孔探测装置，通过移走测量表面，移动显微物镜和CCD相机确定收集物镜准焦面位置，定位CCD像面上爱里斑中心点位置，截...
刘俭谭久彬刘涛赵晨光王伟波
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