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阳玲

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇钝化
  • 1篇氢化非晶硅
  • 1篇微结构
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶硅

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇芮云军
  • 1篇阳玲
  • 1篇徐骏
  • 1篇陈坤基
  • 1篇梅嘉欣
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇南京大学学报...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氢等离子体退火对氢化非晶硅结构有序度的影响被引量：4
2005年
室温下利用氢等离子体退火技术对氢化非晶硅 (a_Si:H)薄膜进行处理 ,通过傅立叶红外、光吸收、拉曼光谱 3种测试手段对非晶硅的微结构进行了分析 ,发现不同的退火时间对a_Si:H的微结构影响很大 ,氢等离子体在与薄膜的化学反应过程中主要表现为原子氢 (H0 )与薄膜的反应 .化学势很高的H0 能将Si_Si弱键转变成Si_Si强键 .硅网络结构发生弛豫 ,使结构由无序向有序转变 ,从而能够降低晶化温度与退火时间 .
芮云军徐骏梅嘉欣阳玲李伟陈坤基
关键词：氢化非晶硅微结构钝化
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