陈奶波
- 作品数:10 被引量:31H指数:4
- 供职机构:浙江大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金“上海-应用材料研究与发展”基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术更多>>
- 一种ZnO纳米柱列阵结构材料及其制备工艺
- 本发明涉及一种ZnO纳米柱列阵结构材料及其制备技术,属于氧化物半导体光电子微结构材料及其气相外延制备技术领域。本发明的ZnO纳米柱列阵结构材料,其特征是ZnO纳米柱的晶轴呈高度的c-轴取向(即垂直于衬底表面)并且排列有序...
- 邱东江余萍徐天宁陈奶波吴惠桢施红军丁扣宝蒋银土
- 文献传递
- 立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能被引量:4
- 2005年
- 采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜表面平整,均呈立方结构,且具有高度的(001)择优取向.立方MgxZn1-xO薄膜具有从紫外到近红外波段良好的透明性,折射率为1.7-1.8,随着波长的增大或Mg组分的增大而降低.
- 余萍吴惠桢陈奶波徐天宁
- 关键词:无机非金属材料折射率
- Si(111)衬底上生长的立方Mg_xZn_(1-x)晶体薄膜被引量:5
- 2003年
- 在国际上第一次采用电子束反应蒸发法在Si(111)衬底上生长了Mg_xZn(1-x)O晶体薄膜.能量色散X射线(EDX)特征能谱及X射线衍射(XRD)分析表明薄膜呈立方结构,薄膜的晶面取向依赖于生长温度,在200℃温度下生长得到高度(200)取向的立方Mg_xZn(1-x)O薄膜,温度过高时得到多晶薄膜.对高度(200)取向的立方Mg_xZn(1-x)O薄膜的光荧光激发谱(PLE)分析表明其光学带隙为4.20eV,相对于MgO的带隙红移量为3.50eV.XRD分析还表明立方Mg_xZn(1-x)O薄膜与MgO衬底之间的晶格失配仅为0.16%.这使得高质量立方Mg_xZn(1-x)O/MgO多量子阱材料的制备成为可能.
- 邱东江吴惠桢陈奶波田维坚
- MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较被引量:5
- 2003年
- 用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2
- 陈奶波邱东江吴惠桢张寒洁鲍世宁何丕模
- 关键词:X射线光电子能谱晶体薄膜氧化锌光谱蓝移带隙
- RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜被引量:2
- 2002年
- 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W .在该条件下金刚石成核密度达 10 11cm-2 ,经 1h生长即获得连续薄膜 ,其平均晶粒尺寸为 2 5nm ,表面粗糙度仅为 5 5 ,在近红外区域 (80 0nm处 )的光透过率达 90 % .
- 邱东江吴惠桢陈奶波石成儒
- 关键词:纳米金刚石薄膜
- 白宝石衬底上生长的Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的结构和光学性能被引量:16
- 2004年
- 在白宝石 (sapphire)衬底上低温外延生长出了MgxZn1 -xO晶体薄膜 .x射线衍射 (XRD)及能量色散x射线 (EDX)分析表明 ,MgxZn1 -xO薄膜的晶体结构依赖于薄膜中Mg的组分x,随着Mg组分的增大 ,MgxZn1 -xO薄膜的结构从与ZnO晶体一致的六方结构转变为与MgO晶体一致的立方结构 .对MgxZn1 -xO薄膜的紫外透射光谱及紫外光致荧光谱 (UVPL)的分析表明 ,随着Mg组分的增大 ,光学吸收边产生明显的蓝移 ,表明MgxZn1 -xO晶体薄膜的带隙增大 ,且带隙连续可调 .吸收光谱和XRD测量显示 ,带隙高达 5 6 5eV的MgxZn1 -xO晶体薄膜与MgO之间的晶格失配仅为0 16 % .
- 陈奶波吴惠桢邱东江
- 关键词:晶体薄膜能量色散结构性能光学性能晶格失配
- 一种c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO多量子阱异质结构材料及其制备工艺
- 本发明的c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO多量子阱异质结构材料,其结构特征是:由6个~25个c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO“势阱/势垒”...
- 邱东江吴惠桢余萍陈奶波徐天宁丁扣宝施红军
- 文献传递
- 一种ZnO纳米柱列阵结构材料及其制备工艺
- 本发明涉及一种ZnO纳米柱列阵结构材料及其制备技术,属于氧化物半导体光电子微结构材料及其气相外延制备技术领域。本发明的ZnO纳米柱列阵结构材料,其特征是ZnO纳米柱的晶轴呈高度的c-轴取向(即垂直于衬底表面)并且排列有序...
- 邱东江余萍徐天宁陈奶波吴惠桢施红军丁扣宝蒋银土
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- MgxZn1-xO晶体薄膜的光学性质研究
- 陈奶波
- 关键词:光学性质
- 一种c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO多量子阱异质结构材料及其制备工艺
- 本发明的c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO多量子阱异质结构材料,其结构特征是:由6个~25个c-Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O/MgO“势阱/势垒”...
- 邱东江吴惠桢余萍陈奶波徐天宁丁扣宝施红军
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