陈绍凤
- 作品数：107 被引量：170H指数：7
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
- MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备被引量：9
- 2003年
- 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。
- 张博军赵湛陈绍凤
- 关键词：MEMS微电子机械系统电磁执行器电铸
- PTFE膜在ISFET中的应用研究
- 本文介绍了在不同条件下,以磁控溅射法生长PTFE薄膜的工艺过程,并测试、分析了膜的结构成分及表面形貌.将PTFE用于REFET中,作为离子钝化膜,在标准pH液的测量中,获得了3.4mV/pH的低灵敏值.
- 汪祖民韩泾鸿孙红光杨海钢夏善红陈绍凤
- 关键词：聚四氟乙烯钝化膜离子敏场效应管传感器
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真被引量：10
- 2003年
- 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 。
- 裴强夏善红龚超白强陈绍凤
- 关键词：MEMS技术微型电场传感器仿真
- 微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制被引量：4
- 2003年
- 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片 ,芯片表面划分成 5× 7个敏感单元 ,其中每个敏感区表面设置 4 0× 4 0个硅尖阵列 ,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口。一个 5× 7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口。给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果 ,分析讨论了芯片厚度。
- 韩泾鸿张虹顾丽波徐磊陈绍凤王利王蕾
- 关键词：微结构光寻址电位传感器
- 新型高效双面场发射阴极真空微电子发光器件
- 一种新型高效双面场发射阴极真空微电子发光器件,包括两块平行的荧光屏,在荧光屏之间有一两面发射电子的阴极。本发明可用于光源和平板显示器等器件,用于光源时它兼有白炽灯的低成本和荧光灯的高效率。用于平板显示器具有低电压、高效率...
- 陈绍凤夏善红
- 文献传递
- 薄膜热导率测量结构的研究
- 提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十...
- 宋青林夏善红陈绍凤吕耀
- 关键词：热导率
- 文献传递
- 一种气囊控制的微量药物输送执行器
- 本发明涉及医疗器械领域，是一种新型硅尖微针阵列微执行器的结构和制作方法。一种气囊控制的微量药物输送执行器，由在硅基片一面上利用微电子机械加工工艺刻蚀出硅针阵列和微通道阵列，在硅片的另一面制作反应室，利用PDMS作样品或药...
- 陈绍凤赵湛秦宁
- 文献传递
- 用于微小热容测量的结构及方法
- 本发明涉及测量结构及方法，特别涉及用于小热容的测量结构及方法。该结构由衬底、悬梁和样品台组成，样品台通过悬梁与衬底相连，其样品台由支撑悬膜、薄膜电阻及绝缘层三部分组成；支撑悬膜上表面有薄膜电阻，支撑悬膜和薄膜电阻上方为绝...
- 夏善红宋青林陈绍凤
- 文献传递
- 台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究
- 1996年
- 本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。
- 夏善红崔大付韩泾鸿陈绍凤王利
- 关键词：真空微电子压力传感器传感器
- 气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
- 论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行嚣,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的。利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键。执行器的微针部分采用硅-氮化...
- 陈绍凤赵湛秦宁陈贤祥
- 关键词：信息采集
- 文献传递
