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模板诱导α-W的形成以及W膜残余应力与电阻率的尺寸效应: 以模板效应为手段，在单晶Si和Mo模板上制备了不同相结构的W膜。采用X射线衍射和场发射扫描电镜分析薄膜微结构，偏振相位移法和四点探针技术分析薄膜残余应力与电阻率。结果表明：Mo膜的模板效应诱导形成等轴晶α-W，而沉积在S...; 刘明霞黄友兰马飞徐可为; 关键词：尺寸效应残余应力电阻率; 文献传递

多层膜晶界和膜界间竞比变形及其对硬度测量的影响被引量：4: 2007年; 使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微术(HRTEM)对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法(CSM)研究了不同压入深度下多层膜的硬度．结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应．调制波长L大于30 nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30 nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小．同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感．结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论．; 刘明霞马飞黄友兰黄平余花娃张建民徐可为; 关键词：多层膜晶界

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黄友兰