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严昌浩

作品数：57 被引量：8H指数：2
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 52篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 17篇自动化与计算...
  • 5篇电子电信
  • 3篇文化科学

主题

  • 20篇电路
  • 16篇集成电路
  • 12篇可制造性
  • 10篇抛光
  • 10篇抛光工艺
  • 10篇光刻
  • 8篇线性规划
  • 8篇模拟电路
  • 8篇化学机械抛光
  • 8篇机械抛光
  • 7篇互连
  • 6篇电路设计
  • 6篇铜互连
  • 6篇图案
  • 6篇贝叶斯
  • 5篇电路技术
  • 5篇集成电路技术
  • 5篇集成电路设计
  • 5篇光刻工艺
  • 5篇高维

机构

  • 55篇复旦大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇中国科学院数...

作者

  • 55篇严昌浩
  • 54篇曾璇
  • 20篇周海
  • 15篇陶俊
  • 15篇周电
  • 8篇冯春阳
  • 8篇王胜国
  • 8篇陆伟成
  • 6篇杨帆
  • 6篇蔡伟
  • 4篇武鹏
  • 4篇杨运峰
  • 2篇朱恒亮
  • 2篇吴震宇
  • 2篇付强
  • 2篇王冬
  • 2篇张业
  • 2篇邵嗣烘
  • 1篇沈悦
  • 1篇喻文健

传媒

  • 2篇计算机辅助设...
  • 1篇中国科学：信...

年份

  • 3篇2024
  • 5篇2023
  • 5篇2022
  • 2篇2021
  • 4篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 57 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种三重曝光光刻工艺的版图图案分解方法
本发明属半导体光刻工艺可制造性设计领域，具体涉及一种三重曝光光刻工艺的版图图案分解方法。先采用矩形扩展的方法构建冲突图；然后随机产生三着色初始解，每轮优化分别依次固定一种颜色，对剩余二种颜色的冲突子图利用双重曝光图案分配...
曾璇陆伟成周海严昌浩张业
一种结合边界积分方程方法和随机法的平面边界面电荷密度提取方法
本发明属集成电路计算机辅助设计/电子设计自动化领域，具体涉及集成电路寄生参数提取方向中一种结合边界积分方程和随机法的互连线或介质平面边界上面电荷密度提取方法。该方法中，以边界上待求点为球心构造一个半球体，与区域边界相交为...
严昌浩曾璇蔡伟
文献传递
一种针对耦合电容影响的化学机械抛光工艺哑元金属填充方法
本发明属集成电路半导体制造技术领域，涉及一种针对耦合电容影响的化学机械抛光工艺哑元金属填充方法。本方法将求解最小化耦合电容影响的哑元金属填充问题转化成特殊的覆盖线性规划问题，然后用完全多项式时间近似法求解所述问题。本发明...
曾璇周海严昌浩陶俊冯春阳
一种电子束和双重图案混合光刻工艺版图图案分解方法
本发明属于集成电路半导体制造技术领域，涉及一种电子束和双重图案光刻工艺中版图图案分解的方法。本发明将同时最小化电子束使用面积和缝合点数目的版图图案分解问题表示成删点两划分问题；所述方法包括：根据输入版图文件和冲突距离B，...
曾璇陆伟成周海严昌浩杨运峰
一种基于密度梯度热点聚类分组和局部求解技术的哑元综合优化方法
本发明属于半导体可制造性设计领域中针对铜互连哑元金属填充的技术，具体涉及一种考虑密度梯度约束的哑元综合优化求解方法。本发明方法在哑元综合过程中同时施加密度上下限约束和密度梯度约束，并且最小化哑元插入数量。本发明方法比较完...
曾璇严昌浩陶俊周星宝武鹏
文献传递
一种基于多起始点重要性采样技术的快速计算SRAM失效概率的方法
本发明属半导体可制造性设计领域，具体涉及考虑纳米工艺扰动下SRAM失效概率快速计算方法。本方法通过在参数空间内进行多起始点序列二次规划算法，搜索多个失效区域对应的最优偏移向量，构建重要性采样所需的偏移概率分布密度函数，并...
曾璇严昌浩周电王梦硕
文献传递
一种基于CMP仿真模型的哑元综合优化方法
本发明属于半导体可制造性设计领域，针对铜互连哑元金属填充的技术，具体涉及一种基于CMP仿真模型的哑元综合优化方法。本发明方法通过全芯片CMP仿真得到CMP抛光后的芯片表面高度形貌，并得到高度变化剧烈的有效热点区域；在有效...
曾璇严昌浩陶俊周星宝武鹏
文献传递
一种建立集成电路芯片内工艺偏差的空间相关性模型的方法
本发明属集成电路领域，涉及一种建立集成电路芯片内工艺偏差的空间相关性模型的方法。采用多测试芯片最大似然估计方法，提取空间相关函数的未知参数，建立片内偏差的空间相关性模型。该方法将所有测试芯片的似然函数相乘得到一个联合似然...
曾璇陆伟成陶俊严昌浩付强
三维互连阻抗的混合边界积分方程提取算法
2007年
基于混合边界元三维互连阻抗提取方法,针对其离散线性方程组的特点,提出有效的稀疏矩阵组织和矩阵行列调整技术,以及一种预条件迭代求解技术,这些技术结合起来形成了一种有效的三维互连阻抗提取算法.该算法在保证计算精度的同时,速度优于MIT最新的提取算法FastImp.最后通过2个典型互连结构的数值实验验证了该算法的有效性.
巩方喻文健严昌浩王泽毅
关键词：边界元方法预条件
一种化学机械抛光工艺哑元填充的启发式方法
本发明属集成电路半导体制造技术领域，提出一种化学机械抛光工艺的哑元填充的启发式方法，将最小化哑元金属数目的哑元填充问题表示成一个标准的线性规划问题，然后提出动态增加网格内哑元金属密度的启发式算法求解最小哑元填充问题。该方...
周海曾璇严昌浩陶俊冯春阳
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