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俞挺

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
发文基金：深圳市基础研究计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇电容
  • 5篇电容式
  • 5篇声传感器
  • 5篇超声传感器
  • 4篇硅衬底
  • 4篇衬底
  • 2篇电极
  • 2篇电极结构
  • 2篇振动膜
  • 2篇探测器
  • 2篇微测辐射热计
  • 2篇牺牲层
  • 2篇芯片
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇红外
  • 2篇红外探测

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇俞挺
  • 8篇于峰崎
  • 5篇彭本贤
  • 1篇李慧云

传媒

  • 1篇集成技术

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
中高速传感器网络关键技术
程良伦于峰崎刘坚章云王涛刘洪涛申建芳何小敏李慧云张旗俞挺陶利强王蜀燕戴辉董爱荣
该成果面向在物联网、制造物联、信息物理融合系统等应用领域中亟需解决视频、音频、各种物理量等繁杂多元数据的可靠感知与高性能传输问题，研究开发具有多业务支撑、高带宽、低延迟、低能耗、高覆盖、高处理能力的中高速传感器网络。该成...
关键词：
关键词：传感器网络
电容式超声传感器芯片及其制作方法
本发明涉及一种电容式超声传感器芯片，其包括表面设有第一区域和第二区域的掺杂硅衬底；所述第一区域具有金属导电层延伸至第二区域的集成电路；所述位于第二区域的金属导电层上覆盖有附加膜，所述附加膜上覆盖有可导电的振动膜，所述附加...
俞挺彭本贤于峰崎
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电容式超声传感器芯片及其制作方法
本发明涉及一种电容式超声传感器芯片，其包括表面设有第一区域和第二区域的掺杂硅衬底；所述第一区域具有金属导电层延伸至第二区域的集成电路；所述位于第二区域的金属导电层上覆盖有附加膜，所述附加膜上覆盖有可导电的振动膜，所述附加...
俞挺彭本贤于峰崎
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电容式超声传感器及其制备方法
本发明公开了一种电容式超声传感器，包括掺杂硅衬底、固定在掺杂硅衬底上的第一电极层以及间隔设置在第一电极层上的第二电极层；第一电极层包括固定在掺杂硅衬底上的绝缘层、固定在绝缘层外沿的侧边电极以及固定在绝缘层中间的中间电极，...
俞挺于峰崎
低噪声电容式超声传感器的结构与电路设计被引量：2
2012年
本文提出了一种紧凑的可动浮栅型电容式超声传感器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)器件结构和低噪声高频电路。该结构包含通常CMUT上下电极和MOS晶体管。建模对浮栅型CMUT器件进行了直流分析和时变电容的瞬态分析,模拟结果表明该传感器结构比传统CMUT具有更低的寄生电容和输出阻抗。在1.5Pa超声声压下进行Cadence和ANSYS仿真,输出信号为40.1mV,在1MHz等效输出噪声为16.59nV/Hz1/2,直流增益为74.73dB,单位增益带宽为488MHz。指标优于传统的CMUT结构,具有医学三维成像的应用前景。
彭本贤俞挺于峰崎
关键词：SPICE模型低噪声
微测辐射热计红外探测器及其制备方法
本发明涉及一种微测辐射热计红外探测器的制备方法，包括下列步骤：步骤A，采用CMOS工艺制造信号处理电路，同时形成红外探测器单元半成品；步骤B，采用干法刻蚀工艺刻蚀红外探测器单元半成品，形成腐蚀窗口；步骤C，淀积保护层，并...
俞挺于峰崎彭本贤
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电容式超声传感器及其制备方法
本发明公开了一种电容式超声传感器，包括掺杂硅衬底、固定在掺杂硅衬底上的第一电极层以及间隔设置在第一电极层上的第二电极层；第一电极层包括固定在掺杂硅衬底上的绝缘层、固定在绝缘层外沿的侧边电极以及固定在绝缘层中间的中间电极，...
俞挺于峰崎
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微测辐射热计红外探测器及其制备方法
本发明涉及一种微测辐射热计红外探测器的制备方法，包括下列步骤：步骤A，采用CMOS工艺制造信号处理电路，同时形成红外探测器单元半成品；步骤B，采用干法刻蚀工艺刻蚀红外探测器单元半成品，形成腐蚀窗口；步骤C，淀积保护层，并...
俞挺于峰崎彭本贤
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