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周长见
作品数:
2
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供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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相关领域:
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合作作者
任天令
清华大学信息科学技术学院微电子...
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陈涛
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缪顾进
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面向压力检测的SAW谐振器的设计与制作
本文提出了一种基于ST-X石英衬底制作的双端谐振器进行压力测量的优化设计方案,并在此基础上进行了谐振器的研制,谐振器的中心频率设计为440MHz。
周长见
张兆华
缪顾进
陈涛
任天令
林惠旺
刘理天
关键词:
谐振器
文献传递
基于AlN/LiNbO_3/diamond叠层结构的声表面波传播特性
2012年
金刚石材料具有最高的声速,与压电薄膜相结合可获得高声速的声表面波器件。该文以改进的传输矩阵计算方法系统研究了12种不同边界条件下AlN/LiNbO3/diamond叠层结构的声表面波波速和耦合系数与AlN和LiNbO3厚度的关系。结果表明:AlN/LiNbO3/diamond的一阶声表面波在一定范围内可保持约9km/s的波速而不随LiNbO3和AlN的厚度而变化;其中4种结构的一阶声表面波耦合系数均可达到8%以上,且可在多种厚度组合下获得。结果显示:AlN/LiNbO3/diamond叠层结构兼具AlN/diamond结构的高声速和LiNbO3/diamond结构高耦合系数的特点,而其一阶波模的稳定波速的特点可克服现有AlN/diamond和LiNbO3/diamond结构的波速与膜厚强关联的缺点,在未来的高频率、高速率无线通信系统中具有潜在的应用价值。
周长见
杨轶
束逸
任天令
关键词:
声表面波
ALN
LINBO3
传输矩阵法
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