宫大为
- 作品数:3 被引量:17H指数:2
- 供职机构:长春理工大学光电工程学院更多>>
- 相关领域:理学电子电信更多>>
- 红外双频波段激光滤光膜的研制
- 本文为满足红外军用仪器的特殊要求,研制了在1064nm处激光能量衰减至1%,3~5μm波段高增透的激光滤光膜。根据薄膜理论进行膜系设计,运用TFC和大众膜系设计软件,考虑双波段的特殊要求,参考镀膜材料的特性优化膜层厚度。...
- 宫大为
- 关键词:红外探测器光学材料真空镀膜
- 多功能抗激光损伤高反射膜被引量:7
- 2010年
- 为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO_2和SiO_2为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀膜工艺参数和监控方法,在10 mm×1.8 mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时,薄膜在900~1 100 nm的p光与s光的反射率均大于99.95%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时满足两种激光器的使用要求。
- 赵缨慰付秀华李珊宫大为
- 关键词:光学薄膜高反射膜激光损伤
- 红外双波段激光滤光膜的研制被引量:11
- 2011年
- 为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3~5μm高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。
- 宫大为付秀华耿似玉杨道奇
- 关键词:光学薄膜离子轰击真空退火