常靖华
- 作品数：3 被引量：12H指数：3
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程更多>>
- 化学气相沉积钨锭工艺研究被引量：4
- 2007年
- 以WF6和H2为原料,粉末冶金钨板为基体,采用热丝开管气流化学气相沉积试验装置,成功地制备出可变形钨锭。试验分析表明:钨锭纯度可达99.9%以上,密度大于19.0g/cm3,硬度为400～500HV,具有良好的加工塑性。研究了钨锭在轧制变形后组织性能变化,以及影响其热轧性能的因素。
- 马捷常靖华王从曾王芦燕
- 关键词：化学气相沉积
- CVD温度对钨沉积层组织性能的影响被引量：6
- 2008年
- 以WF6和H2为反应气体,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钨涂层。分析研究了沉积温度对沉积层组织、结构、表面形貌及涂层致密度、硬度、耐磨性能的影响。试验结果表明:随着温度升高,沉积速率加快,涂层组织逐渐由柱状晶转变为树枝晶,表面粗糙度显著增加,膜层致密度、硬度下降,耐磨性降低。化学气相沉积钨的最佳工艺温度范围为550～650℃。
- 马捷刘玮玮王从曾常靖华
- 关键词：化学气相沉积钨
- 化学气相沉积法制备钨耐磨导电涂层工艺及应用研究
- 难熔金属钨及其合金因具有良好的导热、导电性能,膨胀系数低、高温强度高、低蒸汽压和耐磨、耐腐蚀等特性而在冶金、电子、航空和宇航工业、核工业以及化学工业等领域有着广泛的应用。
本课题主要研究化学气相沉积工艺对沉积钨...
- 常靖华
- 关键词：气相沉积法
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