张辛玥
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：清华大学材料科学与工程系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术金属学及工艺冶金工程更多>>
- 陶瓷微珠的抛光研究
- 本文通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠抛光研究,得到了微珠从烧结到精加工的一般工序。在分组对比实验的基础上研究了不同抛光条件、基体及磨料对微珠抛光效果的影响,总结出一套实验的一般步骤与方法。在选用不同磨料的实验中,分析各种软硬...
- 杨金龙张辛玥
- 关键词：陶瓷微珠抛光
- 文献传递
- 陶瓷微珠的抛光研究
- 2005年
- 通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
- 张辛玥杨金龙黄勇
- 关键词：陶瓷微珠抛光CMP
- 陶瓷微珠的新型圆度测试方法被引量：1
- 2005年
- 使用三维体视显微镜拍摄微珠投影照片,应用图像处理工具修正后得到两值矩阵图片,再应用基于最小二乘圆为背景的圆度测试软件得出圆度误差.目前软件的使用相对还比较复杂,需要经过多步才能得到圆度.
- 张辛玥杨金龙黄勇
- 关键词：非接触
- 陶瓷微珠的新型圆度测试方法
- 本文使用三维体视显微镜拍摄微珠投影照片,应用图像处理工具修正后得到两值矩阵图片,再应用基于最小二乘圆为背景的圆度测试软件得出圆度误差.目前软件的使用相对还比较复杂,需要经过多步才能得到圆度.
- 张辛玥杨金龙黄勇
- 关键词：陶瓷微珠非接触
- 文献传递
- 陶瓷微珠的抛光研究
- 本文通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
- 张辛玥杨金龙黄勇
- 关键词：陶瓷微珠抛光CMP
- 文献传递
- 陶瓷微珠的新型圆度测试方法
- 本文重点在于独立探索出一种非接触法测量陶瓷微珠圆度的方法。传统的圆度测量方法要求被测物容易被夹持,而且圆周半径不是太小,这两点对于陶瓷微珠都不能满足。本文总结出的圆度测试方法,首先使用三维体视显微镜拍摄微珠投影照片,应用...
- 杨金龙张辛玥
- 关键词：陶瓷微珠圆度
- 文献传递
