李玉阁
- 作品数：5 被引量：14H指数：3
- 供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 靶成分和溅射参数对碳化钒薄膜微结构与力学性能的影响被引量：4
- 2012年
- 为了提高碳化物靶溅射薄膜的结晶程度和相应的力学性能，采用等化学计量比的vc靶（n（c）：n（V）=1：1）和富V的VC靶（n（c）：n（v）=0．75：1）通过磁控溅射方法制备了一系列VC薄膜，利用EDS、XRD、SEM和微力学探针研究了靶成分、溅射气压和基片温度对薄膜化学成分、微结构和力学性能的影响．结果表明，对于等化学计量比的VC靶，在Ar气压为2．4-3．2Pa的范围内可获得结晶程度和硬度较高的VC薄膜，其最高硬度为28GPa．而采用富V的VC靶时，在较低的Ar气压（0．6-1．8Pa）下就可获得结晶程度高的VC薄膜，其硬度达到31．4GPa．可见，相对于溅射参数的Ar气压和基片温度，靶的成分对于所获薄膜的成分、微结构和力学性能影响更显著，因而适当提高靶中金属组分的含量是获得结晶良好且具高硬度的VC薄膜更为有效的途径．
- 沈洁李冠群李玉阁李戈扬
- 关键词：碳化钒微结构力学性能磁控溅射
- 溅射气压对碳化钒薄膜微结构与力学性能的影响被引量：4
- 2011年
- 采用碳化钒靶的磁控溅射方法在不同的Ar气压下制备了一系列碳化钒薄膜,利用能量分析光谱仪,X射线衍射,扫描电子显微镜,原子力显微镜和微力学探针研究了气压对薄膜成分、相组成、微结构以及力学性能的影响。结果表明磁控溅射VC陶瓷靶可以方便地制备晶体态的单相碳化钒薄膜,并且溅射气压对薄膜的化学成分、相组成、微结构以及相应的力学性有较大的影响。在溅射气压为2.4~3.2 Pa的范围内,可获得结晶程度好和硬度与弹性模量较高的碳化钒薄膜,其最高硬度和弹性模量分别为28,269 GPa。低的溅射气压（0.32~0.9 Pa）下,所得薄膜结晶较差且硬度较低;过高的溅射气压（〉4.0 Pa）,薄膜的溅射速率降低,结晶变差,其硬度和弹性模量亦随之降低。低气压下薄膜碳含量较高和高气压下溅射原子能量降低可能是薄膜结晶程度降低的主要原因。
- 沈洁李冠群李玉阁李戈扬
- 关键词：碳化钒硬质薄膜微结构磁控溅射
- TiC基纳米多层膜的微结构和超硬效应
- 纳米多层膜可因超硬效应获得高硬度，材料组合的多样性则可使这类材料同时兼具优异的综合性能。早期具有超硬效应的纳米多层膜主要由两种晶体氮化物组成。基于模板效应的非晶晶化技术路线，不同种类的非晶材料已被用于高硬度的纳米多层膜，...
- 李玉阁
- 关键词：纳米多层膜超硬效应调制结构碳化钛
- 文献传递
- 调制结构对c-VC/h-TiB_2纳米多层膜的超硬效应的影响被引量：4
- 2013年
- 通过磁控溅射法制备了一系列不同调制结构的c-VC/h-TiB2纳米多层膜,采用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了纳米多层膜调制结构与超硬效应的关系.基于实验研究结果,建立了立方结构VC和六方结构TiB2组成纳米多层膜时调制结构与硬度的关系图,该图分为四个区域,超硬效应产生于具有明锐界面和共格生长结构的区域中,而在其他区域内调制结构的改变将导致多层膜微结构发生变化,使得硬度相应降低.这一关系图可为类似异结构纳米多层膜获得超硬效应的调制结构设计提供参考.
- 李玉阁李冠群李戈扬
- 关键词：纳米多层膜超硬效应调制结构
- Cu-Ti合金薄膜的微结构和力学性能
- 2015年
- 通过磁控共溅射方法制备了一系列不同Ti含量的Cu-Ti合金薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和纳米力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了化合物对超过饱和固溶薄膜的强化作用。结果表明,由于溅射粒子的高分散性和薄膜生长的高非平衡性,Cu-Ti薄膜形成了超过饱和固溶体,晶格的剧烈畸变使Cu固溶体晶粒迅速细化。随Ti含量的增加,薄膜中产生高分散的细小Cu Tix化合物,并逐步形成Cu超过饱和固溶体纳米晶和细小化合物分布于非晶基体中的结构。与微结构的变化相应,薄膜的硬度随Ti含量的增加持续提高,并在含21.4%Ti(原子分数)时达到8.7GPa的最高值。高分散金属间化合物的存在是Cu-Ti合金薄膜在形成非晶结构后硬度得以继续提高的原因。
- 张安明李玉阁尚海龙马冰洋孙士阳李戈扬
- 关键词：金属间化合物微结构力学性能
