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杨亮亮
作品数:
3
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供职机构:
中国科学技术大学
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合作作者
郁菁
中国科学技术大学
王子文
中国科学技术大学
王会杰
中国科学技术大学
许小亮
中国科学技术大学
蔡家琦
中国科学技术大学
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作者
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蔡家琦
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杨亮亮
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郁菁
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1篇
2016
2篇
2013
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一种管式炉外延系统
本发明提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计...
吴以治
许小亮
王武翟
王会杰
郁菁
杨亮亮
王子文
蔡家琦
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一种管式炉外延系统
本实用新型提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压...
吴以治
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一种管式炉外延系统
本发明提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计...
吴以治
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