武蕊
- 作品数：17 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 一种三凸梁式微机械加速度传感器
- 本发明公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一...
- 孙远程苏伟袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
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- 一种微惯性开关芯片及其制备方法
- 本发明提供了一种微惯性开关芯片及其制备方法。微惯性开关芯片包括玻璃封帽、硅管芯、硅框架和玻璃基底四部分，硅管芯为“平面矩形螺旋梁-方形质量块”微结构。在惯性加速度作用下，方形质量块向玻璃基底运动，当惯性加速度达到闭合阈值...
- 王超陈光焱吴嘉丽施志贵郑英彬武蕊
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- 四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关
- 本文基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和...
- 陈光焱郑英彬赵龙武蕊
- 关键词：惯性力双稳态MEMS悬臂梁
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- 一种双悬臂梁式微机械加速度传感器
- 本实用新型提供了一种双悬臂梁式微机械加速度传感器。其特征在于所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板，其中，敏感芯片含有框架、悬臂梁和质量块以及四个压敏电阻，其连接关系是,所述框架内设置有两个相互独立的悬臂梁，悬臂梁的一端与框...
- 孙远程袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
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- 基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
- 2013年
- 设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
- 袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
- 关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
- 用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺
- 采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。
- 武蕊郑英彬袁明权
- 关键词：微齿轮光刻工艺
- 四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关被引量：2
- 2006年
- 基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和圆弧形双梁机构在实现双稳态功能上的差异.采用湿法腐蚀钼片制作原理样品,其中余弦形双梁机构样品具有双稳态效应和闭合锁定功能.经离心测试,开关闭合阈值加速度为15gn,闭合电阻为2Ω;冲击实验表明在脉宽12ms幅度50gn的半正弦冲击下样品不会闭合;振动实验表明样品可通过三个方向各5min的量级为0.2g2n/Hz的振动测试而不破坏.
- 陈光焱郑英彬赵龙武蕊
- 关键词：惯性力双稳态MEMS
- 无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计被引量：3
- 2009年
- 为了解决"三明治"这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70 g和±5 g两种不同量程的微加速度计。样品测试表明,利用这项技术所制作的微加速度计相对精度皆优于1×10–4。其中,±70 g量程的残差可控制在7 mg以内,非线性可达0.02%;±5 g量程的残差在0.4 mg左右。
- 袁明权彭勃赵龙武蕊唐海林席仕伟谭刚
- 关键词：微电子机械系统微加速度计微机械加工残差
- 薄片PIN探测器及其阵列的灵敏度和上升时间测定被引量：1
- 2004年
- 利用CΓC67实验装置测量了薄片PIN探测器及其二元和三元阵列的低能g射线灵敏度和上升时间。实验证实,三元阵列灵敏度比单个探测器提高到近3倍,但上升时间也随之增大到近2倍。
- 施志贵武蕊张莉
- 关键词：灵敏度上升时间
- 一种单凸梁式微机械加速度传感器
- 本实用新型提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻；其连接关系是，所述框架内设置有敏感凸梁，敏感凸梁一端与框架相连，另一端与质量块相连，...
- 孙远程袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
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