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王伟康

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇信号
  • 3篇微机电系统
  • 3篇谐振
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇淀积
  • 2篇调制
  • 2篇调制信号
  • 2篇压力传感器
  • 2篇真空度检测
  • 2篇驱动信号
  • 2篇谐振式压力传...
  • 2篇力传感器
  • 2篇锚点
  • 2篇接口
  • 2篇接口电路
  • 2篇回路
  • 2篇减法器
  • 2篇发生器
  • 2篇感器

机构

  • 8篇西北工业大学

作者

  • 8篇王伟康
  • 7篇苑伟政
  • 7篇任森
  • 7篇孙小东
  • 4篇陈旭辉
  • 2篇乔大勇
  • 2篇程波
  • 1篇邓进军

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究被引量：2
2014年
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。
王伟康苑伟政任森邓进军孙小东
关键词：湿法腐蚀微机电系统
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路
本发明涉及一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路，属于微机械传感器领域。该电路的跨阻放大器6输出高频调制信号u(t)包含了有用信号，经过高通滤波器7，低频耦合信号被消除，再经过解调器8、低通滤波器9、仪表放大器10得到的...
苑伟政孙小东任森王伟康
文献传递
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
文献传递
弱扰动波传播速度测量教学实验装置
本实用新型公开了弱扰动波传播速度测量教学实验装置，涉及教学设备技术领域，包括保护壳和支架，保护壳内部安装有导管，导管上开设有用于安装麦克风的安装孔，支架为由两个支杆转动连接组成的X型结构，支架可以展开或折叠，折叠后完全收...
张晶辉吴鹏飞王贵源王伟康鲁博迪赖旬宁
文献传递
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
文献传递
一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路
本发明涉及一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路，属于微机械传感器领域。该电路的跨阻放大器6输出高频调制信号u(t)包含了有用信号，经过高通滤波器7，低频耦合信号被消除，再经过解调器8、低通滤波器9、仪表放大器10得到的...
苑伟政孙小东任森王伟康
文献传递
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
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