王占山
- 作品数：617 被引量：751H指数：13
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法
- 本发明公开了一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，特别适用于超光滑表面古典法抛光用的微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选，具体步骤为：将抛光粉和高纯去离子水放入洁净容器中，通入洁净气体混合5～8分...
- 王占山沈正祥王晓强徐旭东马彬
- 动力学晶格蒙特卡洛方法模拟Cu薄膜生长被引量：6
- 2010年
- 利用动力学晶格蒙特卡洛方法模拟了Cu薄膜在Cu(100)面上的三维生长过程。模型中考虑了四个动力学过程:原子沉积、增原子迁移、双原子迁移和台阶边缘原子迁移,各动力学过程发生的概率由多体势函数确定。讨论了基底温度、沉积速率及原子覆盖率对Cu原子迁移、成核和表面岛生长等微观生长机制的影响;获得了Cu薄膜的表面形貌图并计算了表面粗糙度。模拟结果表明,随基底温度升高或沉积速率下降,岛的平均尺寸增大,数目减少,形状更加规则。低温时,Cu薄膜表现为分形的离散生长,高温时,Cu原子迁移能力增强形成密集的岛。Cu薄膜表面粗糙度随着基底温度的升高而迅速减小;当基底温度低于某一临界温度时,表面粗糙度随原子覆盖率或沉积速率的增大而增大;当基底温度超过临界温度时,表面粗糙度随原子覆盖率或沉积速率的变化很小,基本趋于稳定。
- 吴子若程鑫彬王占山
- 关键词：薄膜生长沉积速率基底温度表面粗糙度
- 一种双通道复合波长红外激光雷达发射系统光学镜头
- 本发明涉及一种双通道复合波长近红外激光雷达发射系统光学镜头。两路光学通道的共用激光光源和前级扩束系统，两路通道输出不同口径的平行光束，通过转换镜切换进行分时工作，满足了紧凑化和低成本的要求，实现了模块化设计；共用的前级扩...
- 王占山沈正祥童广德程鑫彬焦宏飞张锦龙
- 文献传递
- 超高真空环境远紫外-极紫外光斩波周期调制分光装置
- 本发明涉及一种超高真空环境远紫外‑极紫外光斩波周期调制分光装置，包括安装底座以及设置于所述安装底座上的高反薄膜反射镜、底板、伺服电机和光电传感器，所述高反薄膜反射镜包括基板和镀制于基板表面的Au/B<Sub>4</Sub...
- 李文斌余越谢春王占山
- X射线超反射镜的设计与制备
- 本文介绍了一种可用于X 射线成像望远镜中的高能X 射线反射元件--X 射线超反射镜的设计方法和制备结果。首先，本文结合Spiller 和Yamamoto 的选择膜层材料的方法选择了W、C 作为多层膜超反射镜的膜层材料对。...
- 王风丽张众吴文娟秦树基王占山陈玲燕
- 关键词：磁控溅射优化设计多层膜
- 文献传递
- 一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的镀制方法
- 本发明涉及一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的镀膜方法，该方法属于薄膜光学领域，主要针对高反射激光薄膜中影响损伤阈值高低的两个关键因素——吸收和缺陷，在电子束蒸镀每层膜结束后，采用高能离子束对薄膜进行轰击处理，此方法不但保留...
- 焦宏飞王利张艳云鲍刚华程鑫彬王占山
- 文献传递
- 利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度
- 随着现在光学技术的发展,粗糙度小于1nm的超光滑表面光学元件在紫外和X射线光学、高反射率光学元件的研制、半导体工业中有着越来越广泛的应用。光学基底表面的粗糙度对光学薄膜的性质有着很大的影响,不但影响光学薄膜对基底的附着力...
- 沈正祥王占山马彬徐敬陈玲燕
- 文献传递
- eXTP望远镜用W/Si多层膜被引量：1
- 2017年
- 针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分隔板和掩模板对溅射粒子进行准直,同时优化了本底真空度和溅射工作气压,提升了薄膜的成膜质量;然后,通过调整分隔板间距和公转速率提升了在柱面基底上薄膜的沉积均匀性;最后,利用幂指数算法设计了非周期多层膜,并在北京同步辐射光源上进行了多能点反射率测试,得到了与理论设计基本吻合的测试结果。基于优化的制备工艺制备了周期数为80,周期为3.8nm和W膜层厚度占比为0.47的W/Si周期多层膜,其界面粗糙度仅为0.29nm,柱面镜薄膜厚度误差可控制在3%以内,基本满足了eXTP项目中嵌套式掠入射望远镜镜片用多层膜对于成膜质量、沉积厚度均匀性和能谱响应宽度的需求。
- 齐润泽黄秋实杨洋张众王占山
- 关键词：界面粗糙度
- Schwarzschild物镜装卡应力对光学元件面形的影响被引量：3
- 2013年
- 为了实现接近衍射极限的分辨率,工作在极紫外波段的Schwarzschild物镜要求其光学元件的面形精度达到约1nm(RMS值);而在物镜的装配过程中,装卡产生的应力会影响光学元件的面形精度,定量计算装卡应力对元件面形的影响是获得高分辨率成像的关键。在光学设计、公差分析的基础上,采用有限元模型系统地分析了应力对Schwarzschild物镜光学元件面形精度的影响。结果表明:采用自行设计的物镜结构,应力对主镜面形的影响可以达到0.7nm,而对副镜的影响可以忽略;应力所产生的光学元件面形变化会使系统的几何传递函数(5000lp/mm)从0.76下降到0.61。
- 王玲王新穆宝忠伊圣振朱京涛王占山
- 关键词：有限元面形误差应力
- 一种TIR透镜的分段式超精密车削加工方法
- 本发明涉及一种TIR透镜的分段式超精密车削加工方法，包括：分割TIR透镜模型，得到第一部件模型和第二部件模型；对第一部件模型和第二部件模型进行修改，得到对应的第一毛胚和第二毛胚；基于第二毛胚，车削加工出第二分割锥面，得到...
- 王占山余俊王一凡
