王鹤岩
- 作品数:24 被引量:10H指数:2
- 供职机构:中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家科技基础条件平台建设计划更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 高精度直径和形状综合测量技术的研究
- 直径和形状参量是表征回转体工件不同特性的两个参量,在常规的高精度测量中直径和形状是分别测量再合成表征的,其合成测量不确定度会增大,测量时间比较长。为了满足回转体类工件超精密制造精度不断提高的要求,需要研究不确定度为0.1...
- 薛梓叶孝佑武永波占伟伟王鹤岩杨国梁
- 文献传递
- 新型高精度激光两坐标计量标准装置的研制及应用
- 薛梓叶孝佑王鹤岩孙双花高宏堂等
- 光掩膜制造是集成电路和平板是显示制造流程中的关键流程,而掩膜测量是控制其制造质量的重要手段。我国作为全球最大的集成电路市场,其生产线系统的成套设备、检测仪器几乎全部依赖进口,严重受制于人,因此针对其发展需求,解决其面临的...
- 关键词:
- 关键词:计量标准装置
- 激光两坐标标准装置平台变形特性分析
- 介绍了激光两坐标标准装置的使用情况,结合测量仪器中常用的平台点式支承技术,针对该装置中的微晶玻璃平台的变形问题,采用轻量化、改变支承方式等方法,减小玻璃微晶平台变形对测量的影响。通过三维软件CATIA进行建模及有限元分析...
- 王鹤岩薛梓杨国梁
- 关键词:微晶玻璃有限元分析
- 文献传递
- 小模数齿轮测量技术的进展
- 随着齿轮制造业的发展,小模数齿轮的尺寸越来越小,而加工精度却越来越高,传统的测量仪器已无法满足测量要求,小模数齿轮的测量技术成为近几年的研究热点.通过对小模数齿轮测量方法及测量仪器的综述,分析了目前的测量方法和仪器的不足...
- 杨国梁王鹤岩
- 关键词:小模数齿轮齿轮测量中心
- 文献传递
- 水平准线偏差检测中测微器的应用研究
- 采用被检定的水准仪检定装置自身所带i角测微器,对水准仪检定装置的水平准线偏差指标进行测量。
该方法可极大简化原规程中所采用的检测方法,且测最精度依然可满足水平准线偏差的检定要求。
- 王鹤岩沈妮刘胜春薛梓杨国梁庞金录
- 关键词:测微器
- 测斜仪校准方法探讨
- 通过论述测斜仪的原理特性及用途,参照国家检定规程JJG57--1999光学数显分度头,提出了采用分度头测量测斜仪倾角的校准方法,其测量不确定度为2.6',可以满足测斜仪检定要求。
- 沈妮王鹤岩
- 关键词:测斜仪校准方法分度头测量不确定度
- 文献传递
- X射线衍射仪角度校准的光学新方法被引量:2
- 2014年
- 目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
- 崔建军高思田邵宏伟杜华王鹤岩
- 关键词:计量学X射线衍射
- 高精度位移传感器动静态溯源和校准装置的研制被引量:7
- 2008年
- 介绍了高精度位移传感器的动、静态特性溯源和校准原理及其标准装置的结构组成,并对它进行了实验验证。该装置可根据位移传感器在实际测量中的使用状态以及幅频响应范围,生成相应幅频下的标准动态信号并产生标准振动,经过同步采集及频谱分析,可得到在不同频率下相对激光基准的幅相误差。其生成的标准动态信号量值可直接溯源到激光波长,并可对位移传感器实现0~30μm下的任意间隔的线性校准和1—100Hz下的动态校准,它还可用于在线传感器的动静态特性的校准。
- 薛梓叶孝佑杨国梁王鹤岩
- 关键词:计量学位移传感器动态校准
- 小模数齿轮测量技术的进展
- 2008年
- 随着齿轮制造业的发展,小模数齿轮的尺寸越来越小,而加工精度却越来越高,传统的测量仪器已无法满足测量要求,小模数齿轮的测量技术成为近几年的研究热点。通过对小模数齿轮测量方法及测量仪器的综述,分析了目前的测量方法和仪器的不足,讨论了光纤测头及单面啮合测量技术在小模数齿轮测量过程中的应用。
- 杨国梁王鹤岩
- 关键词:计量学小模数齿轮齿轮测量中心
- 一种可直接溯源的高精度齿轮误差测量方法
- 本发明涉及一种可直接溯源的高精度齿轮误差测量方法。传统测量方法存在的阿贝误差和间接溯源都限制了测量精度的提升,本发明采用激光干涉测长作为测量标准,直接对齿轮误差进行测量。通过设计和布局可减小装置阿贝误差的激光干涉测长双光...
- 薛梓林虎黄垚杨国梁王鹤岩
- 文献传递