白临波
- 作品数：20 被引量：50H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 双光路双波长相移干涉显微法测量衍射光学元件形貌被引量：2
- 2000年
- 衍射光学元件 (DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难。本文将双波长测量法的思想推广应用到不连续深结构表面的测量 ,并提出了一种新型数据处理方法 ,有效地克服了这些困难。理论分析和测量结果表明 ,基于这些方法的三维表面形貌测量系统纵向分辨率为 0 .5nm,横向分辨率约为 0 .5μm(NA=0 .4 ) ,在整个纵向测量范围内重复测量精度优于 1.3nm,满足了衍射光学元件表面形貌测量的需要。
- 周明宝林大键白临波
- 关键词：衍射光学元件三维表面形貌干涉显微镜
- 长焦深折衍混合系统三维光场分布研究
- 具有高分辨率可实用化的长焦深元件具有广泛的应用前景.但由于三维空间光场分布模拟软件的匮乏和设计理论及制作技术的限制使得这类元件的研究进展缓慢.该文基于研究现状,在研制三维空间光场模拟软件和突破设计方法及优化设计软件的基础...
- 白临波
- 关键词：能量守恒
- 文献传递
- 消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究被引量：3
- 2000年
- 本文研究菲涅耳谐衍射透镜的特性和工作条件 ,分析二元谐衍射透镜的衍射效率及制作要求 ,设计并研制了用于萨克 -哈特曼波前传感器的双波长共焦谐衍射微透镜列阵 ,得到了良好的应用效果 .
- 杜春雷白临波邱传凯王永茹潘丽
- 关键词：衍射效率
- 红外面阵焦平面探测器
- 本实用新型是一种红外面阵焦平面探测器,属于对红外探测器的改进。本实用新型由红外探测器与集成在其上的微透镜阵列构成红外面阵焦平面探测器。该红外面阵焦平面探测器既提高了红外探测器的探测率,同时又克服了现有耦合式红外探测器体积...
- 杜春雷邱传凯白临波潘丽王永茹
- 文献传递
- 激光直写系统辅助图形编辑软件的研究
- 该文对激光直写系统的图形辅助编缉软件进行了一些有意义的研究和讨论.通过剖析ICED软件和CIF文件格式,分析衍射光学元件图形特性,编制了一套适于激光直写系统应用的,针对衍射光学元件图形的图形编辑软件--MASK软件.它为...
- 白临波
- 关键词：激光直写系统
- 衍射微透镜列阵应用技术研究
- 杜春蕾邱传凯白临波邓启凌潘丽陈波周礼书周崇喜王永茹候德胜
- 该项目首次将微透镜阵列成功集成在256×290元PtSi红外焦平面探测器芯片上。在红外成像测试系统中对集成芯片进行红外成像实验，结果良好，为提高大面阵红外探测器的探测性能提供了一个全新的技术。红外焦平面探测器的性能直接决...
- 关键词：
- 关键词：微透镜列阵红外焦平面探测器集成芯片
- 折衍混合系统实现长焦深方法研究被引量：4
- 2001年
- 通过对传统能量守恒法设计长焦深元件进行介绍与分析 ,根据衍射元件设计灵活的特性 ,提出了改进的能量守恒法设计方法 ,利用折衍混合系统实现长焦深元件 ,并建立了优化的评价函数分两步对设计结果进行优化。
- 白临波李展陈波杜春雷曾红军郭履容
- 关键词：衍射元件
- 微透镜列阵提高红外探测器探测能力的方法研究被引量：13
- 2001年
- 研究用微光学方法提高红外探测器探测能力的机理 ,通过实验将锗微透镜列阵耦合到 180元HgCdTe焦平面红外探测器上 ,使耦合组件探测率提高到原来的 2 .8倍。提出的光学耦合效率概念为客观评价微光学聚能元件综合质量及耦合机构性能提供了一种新的方法。
- 杜春雷林祥棣周礼书白临波邱传凯徐国森方家雄王继元
- 关键词：微透镜列阵红外焦平面探测器探测率微光学
- 微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究被引量：4
- 2003年
- 在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。
- 杜春雷邱传凯邓启凌潘丽白临波王永茹
- 关键词：微透镜列阵红外探测器集成芯片热成像
- 移动掩模法制作连续浮雕微透镜列阵
- 陈波杜春雷曾红军郭履容王菁潘丽邓启凌周礼书邱传凯罗红心白临波王永茹林大键候德胜杨磊磊
- 该项目针对科学领域对连续浮雕微透镜列阵（CMLA）的需求，提出和研究了制作CMLA的新方法----移动掩模连续光刻技术。该方法采用投影光刻或接近接触式光刻设备，通过对掩模结构的特殊设计、曝光过程中掩模的位移控制、及光刻材...
- 关键词：
- 关键词：微透镜列阵
