程方
- 作品数：6 被引量：34H指数：4
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究
- 近年来纳米三维测量技术引起了广泛关注。由新型加工技术如MEMS，LIGA制备的微型工件往往具有介观尺度的大小，而具有纳米级的精度要求。传统的三坐标测量机(CMM)不具备如此高精度的测量能力;一些新型的测头，如SPM，只具...
- 程方
- 关键词：纳米测量机全息光栅位移传感器
- 文献传递
- 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术被引量：10
- 2007年
- 提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测.
- 夏豪杰费业泰范光照程方
- 纳米三坐标测量机接触式测头触发控制被引量：7
- 2010年
- 为高灵敏度纳米三坐标测量机(nano-CMM)接触式测头提出了一种高精度高效率的触发控制策略。该策略使用了一种自行研制的4-DVD接触式测头,工件接触测头产生的微小变形会导致测头产生灵敏度极高的触发信号。系统使用超声波马达整合不同驱动模式,实现了高速逼近和低速触发的有效结合。触发过程使用了二次触发策略,即第一次触发获得接触位置的范围,第二次触发用极低的速度,详细记录触发点附近的触发信号,并通过线性拟合的方式求得信号曲线转折点,即为触发位置。该方法解决了驱动分辨率和行程大小的矛盾。实验结果显示:该方法可以有效地避免测头系统的塑性形变,触发位置的重复性可在10 nm以内。结果表明,本文提出的nano-CMM接触式测头触发控制策略在保证精度和稳定性的前提下,表现出了良好的控制效率。
- 程方费业泰
- 关键词：纳米三坐标测量机接触式测头超声波马达
- 纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量(英文)被引量：8
- 2010年
- 提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测头进行标定,整个实验系统需要3个基本条件:纳米级驱动器,高分辨率传感器和多级速度控制算法.本研究使用一种超声波马达HR4在同一平台上实现大行程粗略驱动以及微位移调整.位移测量使用光栅传感器LDGI(linear diffraction grating interferometer),其分辨率可达1nm.在测试过程中采用高速逼近和低速触发,使用"双触发"方式获得触发点位置.接触点位置的侦测使用开关电路.触发信号和位移信号由同一块数据采集卡同步采集.实验表明,使用该方法测量预行程,单方向重复性在±5nm以内.
- 程方范光照费业泰
- 关键词：纳米三坐标测量机接触式测头预行程
- 基于LabVIEW的纳米三坐标测量机控制
- 本研究为纳米级三坐标测量机各个工作部分分别提出了可行的控制方案,为新型的位移传感器开发出相应的测量软件。
本研究所针对的纳米三坐标测量机须实现20mm×20mm×10mm的量程,以自行开发的线...
- 程方
- 关键词：定位控制
- 文献传递
