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章新春
作品数:
2
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供职机构:
北京大学信息科学技术学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张云峰
北京大学信息科学技术学院
于晓梅
北京大学信息科学技术学院
赵建业
北京大学信息科学技术学院
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超高频体模式MEMS谐振器的传感电路设计
本文针对体模式谐振器激励和响应信号的特点,设汁集成了激励信号产生电路和微弱信号检测电路的系统解决方案。系统通过对谐振器的扫频激励和检测扫频时谐振器的输出电流信号的幅度特性,可以准确的找到谐振器的谐振频率。具有宽频谱范围(...
章新春
张云峰
赵建业
于晓梅
关键词:
谐振器
频谱搬移
测量方法
电路设计
文献传递
超高频体模式MEMS谐振器及其传感系统平台技术研究
2008年
针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统。系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性。为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号,系统设计使用频谱搬移的测量方法。该方法通过把包含在高频信号中的有效信息搬移到低频端进行信号处理,可以提高信号抗噪声的能力,实现对微安量级的高频电流放大检测。
章新春
张云峰
赵建业
于晓梅
关键词:
MEMS
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