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袁浩
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院理化技术研究所
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相关领域:
化学工程
文化科学
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合作作者
赵榆霞
中国科学院理化技术研究所
吴飞鹏
中国科学院理化技术研究所
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中国科学院
作者
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袁浩
6篇
吴飞鹏
6篇
赵榆霞
传媒
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2011第十...
年份
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2014
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2012
3篇
2011
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可用于化学增幅型正性光刻胶的敏化剂及其在制备化学增幅型正性光刻胶中的应用
本发明公开了一类可用于化学增幅型正性光刻胶的敏化剂及其在制备化学增幅型正性光刻胶中的应用,该敏化剂包括以三苯胺为电子给体的直链或多支型的苄叉环烷烃酮类双光子染料或以三苯胺为电子给体的直链或多支型的苄叉烷烃酮类双光子染料;...
吴飞鹏
袁浩
赵榆霞
化学增幅型正性光刻胶的敏化剂及其应用
本发明公开了一类可用于化学增幅型正性光刻胶的敏化剂及其在制备化学增幅型正性光刻胶中的应用,该敏化剂包括以三苯胺为电子给体的直链或多支型的苄叉环烷烃酮类双光子染料或以三苯胺为电子给体的直链或多支型的苄叉烷烃酮类双光子染料;...
吴飞鹏
袁浩
赵榆霞
文献传递
苄叉烷烃酮类双光子敏化生酸体系在正性光刻胶中的应用
本文合成了以三苯胺为电子给体的苄叉烷烃酮类双光子染料, 测定了染料的光化学和光物理性质,染料的双光子吸收截面均达到1000GM以上。将染料分别和常用紫外光生酸剂N-羟基邻苯二甲酰亚胺三氟甲烷磺酸酯(NIOTf)组成双光子...
袁浩
赵榆霞
吴飞鹏
关键词:
感光材料
化学增感
双光子吸收
基于双光子染料敏化产酸的化学增幅型正性光刻胶及其双光子微加工
本工作合成了以三苯胺为电子给体的双光子敏化染料,并将染料和光生酸剂组成双光子敏化产酸体系.系统的研究了染料的光化学和光物理性质,讨论了染料经光致电子转移过程敏化产酸剂产酸的机理,并测定了各敏化产酸体系在溶液中的产酸效果....
袁浩
赵榆霞
吴飞鹏
文献传递
化学增幅型正性光刻胶、制备方法及其在双光子精细加工中的应用
本发明公开了一种化学增幅型正性光刻胶,包括如下重量份数的原料:光敏染料0.0001~2份;光生酸剂0.005~10份;酸降解型树脂5~80份;溶解抑制剂0~60份;有机溶剂20~90份。本发明还公开了上述光刻胶的制备方法...
吴飞鹏
袁浩
赵榆霞
文献传递
可用于正性化学增幅型光刻胶的苄叉烷烃酮类双光子敏化剂
本研究合成了以三苯胺为电子给体的苄叉烷烃酮类双光子染料,并将染料和光生酸剂组成双光子敏化产酸体系,系统的研究了染料的光化学和光物理性质。利用优选出的敏化产酸体系制备了化学增幅型正性光刻胶,用衰减全反射红外谱研究了光刻胶膜...
袁浩
赵榆霞
吴飞鹏
关键词:
光敏染料
双光子吸收
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