陈小虎
- 作品数:3 被引量:4H指数:1
- 供职机构:浙江工业大学化学工程与材料学院更多>>
- 发文基金:浙江省“钱江人才计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信更多>>
- 磷离子注入纳米金刚石薄膜的n型导电性能与微结构研究被引量:1
- 2011年
- 系统研究了磷离子注入并在不同温度退火后的纳米金刚石薄膜的微结构和电学性能.研究表明,当退火温度达到800℃以上时,薄膜呈良好的n型电导.Raman光谱和电子顺磁共振谱的结果表明,薄膜中金刚石相含量越高和完整性越好,薄膜电阻率越低.这说明纳米金刚石晶粒为薄膜提供了电导.1000℃退火后,薄膜晶界中的非晶石墨相有序度提高,碳悬键数量降低,薄膜电阻率升高.薄膜导电机理为磷离子注入的纳米金刚石晶粒提供了n型电导,非晶碳晶界为其电导提供了传输路径.
- 胡晓君胡衡陈小虎许贝
- 关键词:纳米金刚石薄膜N型
- 退火时间对硼掺杂纳米金刚石薄膜微结构和电化学性能的影响被引量:3
- 2012年
- 采用高分辨透射电镜、紫外和可见光Raman光谱及循环伏安法研究了1000℃下退火不同时间的硼掺杂纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能.结果表明,随退火时间的延长,薄膜中纳米金刚石晶粒尺寸逐渐减小.当退火时间为0.5 h时,金刚石晶粒尺寸由未退火样品的约15 nm减小为约8 nm,金刚石相含量增加;当退火时间为2.0 h时.金刚石晶粒减小为2—3 nm,此时晶界增多,金刚石相含量减少;退火时间为2.5 h时纳米金刚石晶粒尺寸和金刚石相含量又略有上升.晶粒尺寸和金刚石相含量的变化表明薄膜在退火过程中发生了金刚石和非晶碳相的相互转变.可见光Raman光谱测试结果表明,不同退火时间下,G峰位置变化趋势与I_D/I_G值变化一致,说明薄膜内sp^2碳团簇较大时,非晶石墨相的有序化程度较高.退火0.5,1.0,1.5和2.0 h时,电极表面进行准可逆电化学反应,而未退火和退火时间为2.5 h时电极表面进行不可逆电化学反应.退火有利于提高薄膜电极的传质效率,退火0.5 h时薄膜电极的传质效率最高,催化氧化性能最好.较小的晶粒尺寸、较高的金刚石相含量以及纳米金刚石晶粒的均匀分布有利于提高电极表面反应的可逆性和催化氧化性能.
- 胡衡胡晓君白博文陈小虎
- 关键词:退火时间微结构电化学性能
- 氧离子注入纳米金刚石薄膜的微结构与电学性能研究
- 高质量、高载流子迁移率和低电阻率的n型金刚石薄膜的制各是限制金刚石在电子工业中应用的瓶颈问题。本文采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备本征纳米金刚石(NCD)薄膜,并以之为衬底,注入不同剂量的氧离子;系统研究了退火温...
- 陈小虎
- 关键词:纳米金刚石薄膜微结构电学性能