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顾晓东
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
新疆石油学院
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
蒋仕级
洛阳工学院
成钢
洛阳工学院
陈庆东
洛阳工学院
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2篇
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2篇
金属学及工艺
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光电子
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洛阳工学院
作者
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蒋仕级
2篇
顾晓东
1篇
陈庆东
1篇
成钢
传媒
1篇
云南大学学报...
1篇
新疆石油学院...
年份
2篇
1998
共
2
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利用XPS测多层膜厚度
被引量:1
1998年
本文利用空心阴极离子镀膜技术制备了纯Cr膜(基底为硅片),利用XPS分析技术,得出在Cr膜表面存在一层氧化层,并测出了其厚度。
顾晓东
蒋仕级
关键词:
X射线光电子谱
多层膜
镀铬
Cr薄膜氧化过程的AR-XPS研究
被引量:4
1998年
应用空心阴极离子镀(HCD)技术在玻璃基片上镀一层均匀纯Cr薄膜.用角分辨XPS(ARXPS)方法对Cr薄膜在T=300K,p=1.3×105Pa条件下的氧化层厚度进行测定,数据用最小二乘法处理.Cr薄膜氧化0.5h后,其氧化层厚度约为0.75nm,30d以后其氧化层厚度约为3.12nm.
成钢
陈庆东
顾晓东
蒋仕级
关键词:
氧化层
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