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高皓

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇团簇
  • 1篇偏析
  • 1篇铝掺杂
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米团簇
  • 1篇硅表面
  • 1篇SI(100...
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇高皓
  • 1篇张朝晖
  • 1篇廖龙忠

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究被引量:3
2009年
通过高温退火注入了铝的Si(100)样品,探讨偏析出来的铝在硅表面的热力学行为.由900℃的退火实验发现,偏析出来的铝原子一方面形成Si(100)基底的外延铝膜和铝岛,另一方面与硅原子结合形成尺度约为2—3nm的铝硅团簇.而1200℃的退火实验显示,铝和硅的快速冷凝形成了立方晶系的Al4Si合金晶粒、尺度约为20—30nm.细小的铝硅团簇在结构上独立于样品基底并且趋于聚集成团,很可能是在高温退火和快速降温过程中形成铝硅合金晶粒的前驱.
高皓廖龙忠张朝晖
关键词:硅表面铝掺杂团簇
共1页<1>
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