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高皓
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
廖龙忠
北京大学物理学院人工微结构与介...
张朝晖
北京大学物理学院人工微结构与介...
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高皓
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张朝晖
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廖龙忠
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1篇
2009
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离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究
被引量:3
2009年
通过高温退火注入了铝的Si(100)样品,探讨偏析出来的铝在硅表面的热力学行为.由900℃的退火实验发现,偏析出来的铝原子一方面形成Si(100)基底的外延铝膜和铝岛,另一方面与硅原子结合形成尺度约为2—3nm的铝硅团簇.而1200℃的退火实验显示,铝和硅的快速冷凝形成了立方晶系的Al4Si合金晶粒、尺度约为20—30nm.细小的铝硅团簇在结构上独立于样品基底并且趋于聚集成团,很可能是在高温退火和快速降温过程中形成铝硅合金晶粒的前驱.
高皓
廖龙忠
张朝晖
关键词:
硅表面
铝掺杂
团簇
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