乔大勇
- 作品数：151 被引量：248H指数：8
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究被引量：2
- 2006年
- 研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性.对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析,分析表明可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱,即模拟光谱.最后介绍了微型可编程光栅的光谱模拟特性在相关光谱检测法中的应用,分析了其相对于传统方法的优点.
- 安飞苑伟政乔大勇秦冲
- 关键词：MOEMS光谱模拟
- 基于利萨如图扫描方式的投影显示方法
- 本发明公开了一种基于利萨如图扫描方式的投影显示方法，属于投影显示领域。该方法首先计算利萨如图形的时间矩阵T<Sub>M×N</Sub>，根据待显示图像查的图像点阵和在显示位置得到网格平面点阵B<Sub>M×N</Sub>...
- 乔大勇夏长锋刘耀波李昭梁小伟
- 文献传递
- 有尾排气式真空封装内部放气特性分析
- 2016年
- 以一种有尾排气式真空封装器件为对象,从释放气体组分和放气量两方面对封装体内部放气特性进行了分析,旨在为器件的高真空度设计、提高器件寿命提供依据。首先,通过残余气体分析得到了各封装体内部的气体成分,推理出各构件所释放气体的具体组分;其次,通过真空电阻丝标定方法得到了各封装体内的压强变化,分析出各构件的放气量。研究结果表明,封装体内部的气体主要有:N_2,O_2,Ar,CO_2,H_2O,H_2,碳氢化合物,甲醇等,其中管壳是最大的气源,主要释放气体为H_2、H_2O;其次为银浆,主要释放气体为CO_2、N_2;最后为半导体制冷器,主要释放气体为H_2O、CO_2、N_2。
- 乔大勇曹兰玉夏长峰
- 关键词：真空封装
- 电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法
- 本发明公开了一种电磁—静电混合驱动二维微扫描镜及制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)器件领域。该器件主要由中心镜面1、支撑镜面外框架2、静电驱动组件3、电磁驱动组件4组成。其中，中心镜面采用基于洛仑兹力的电磁驱动，支...
- 苑伟政王军平虞益挺乔大勇孟庆超宋秀敏郭向楠
- 文献传递
- 基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真
- 2006年
- 应用细胞自动控制算法对硅湿法刻蚀进行物理仿真,按硅原子晶体结构构建细胞单元,以原子共价键连接状态和相邻细胞的状态来判断刻蚀中某个细胞是否去除或者保留,最后获得与理论分析相符的仿真结果。
- 林国树李晓莹乔大勇苑伟政
- 关键词：各向异性湿法刻蚀物理仿真
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构被引量：3
- 2007年
- 提出了一种利用临界屈曲法在线测量微机械薄膜残余应力的新结构,并采用表面微加工技术制作了两种测试样品.搭建了在线观测实验装置来实时监控释放过程中结构出现的临界屈曲变形模态,由此判断出结构内部的应力状态,同时在测得临界刻蚀深度的情况下,采用有限元方法计算出残余应力大小.借助有限元方法,先研究了多个参数对临界屈曲应力的影响,然后利用这种新结构对薄膜残余应力进行了实际测量,所得结果与微旋转结构的应力测量结果基本吻合.分析及实验表明,新结构在测量薄膜残余应力方面有许多优点,具有较高的实用价值,不仅能满足大量程的应力检测要求,而且只用一个结构就可以同时测量压应力和拉应力,从而极大提高了器件版图空间的利用率.
- 虞益挺苑伟政乔大勇梁庆
- 关键词：有限元方法
- 基于MEMS的灵巧蒙皮技术
- 姜澄宇苑伟政马炳和邓进军钟军威刘奎齐勇陈爽王艳姚占朝张承亮任森乔大勇吕湘连何洋
- 本成果是MEMS与飞行器主动流动控制技术结合的多学科交叉前沿技术研究，属于先进制造技术领域。 本成果的灵巧蒙皮技术是一种用于飞行器主动流动控制的微系统及相关MEMS器件技术，使传统蒙皮具有传感、致动和控制等功能，实现飞...
- 关键词：
- 关键词：MEMS蒙皮
- 静电MEMS微镜谐振扭转角轨迹正弦估计的偏差研究
- 2023年
- 静电MEMS微镜扭转角实时获取通常是通过测量出微镜的谐振幅值和相位,按照正弦关系去估计任意时刻的扭转角数值,但关于这种正弦轨迹的假设存在多大的偏差的相关报道很少。使用显微激光多普勒方法,对C1100型MEMS微镜在不同驱动频率和驱动电压下的真实谐振扭转角轨迹进行了测量,并对比了真实轨迹和用正弦曲线拟合轨迹的偏差。结果证明,方波驱动下的MEMS微镜,其真实轨迹和正弦拟合轨迹并不完全符合,存在随扭转角振幅增大而增大的偏差。通过对真实轨迹时域信号进行快速傅里叶变换和频域分析,可以证明偏差存在的主要原因是实测轨迹除了有频率为驱动方波频率1/2倍的正弦信号以外,还叠加了频率为驱动方波频率1倍和3/2倍等高频正弦信号。研究结果表明,按照正弦曲线来估计光学角的方法仅适用于光学扫描角精度要求低于0.1°的场景。
- 李晋刚何叶袁仕俊乔大勇于得水李智源
- 关键词：激光多普勒
- 一种实现偏振分光与波导耦合的集成光子学器件
- 本发明提出一种微纳粒子及其阵列与光波导集成的光子学器件结构。该光子学器件结构包括第一微纳粒子，第二微纳粒子，第一光波导，第二光波导，以及基底层。其特征在于第一微纳粒子和第二微纳粒子分别位于第一光波导和第二光波导的轴线延长...
- 黎永前余洋刘金泽乔大勇
- 文献传递
