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冯先进

作品数：26 被引量：12H指数：2
供职机构：山东大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 11篇铝
  • 11篇铟
  • 8篇电极
  • 8篇射频磁控
  • 8篇射频磁控溅射
  • 8篇溅射
  • 8篇磁控
  • 8篇磁控溅射
  • 7篇晶体管
  • 6篇射频磁控溅射...
  • 6篇溅射法
  • 6篇薄膜晶体
  • 6篇薄膜晶体管
  • 6篇磁控溅射法
  • 5篇氧化物
  • 5篇禁带
  • 4篇退火
  • 4篇热退火
  • 4篇肖特基
  • 4篇肖特基接触

机构

  • 26篇山东大学
  • 1篇青岛科技大学

作者

  • 26篇冯先进
  • 7篇马瑾
  • 5篇杨帆
  • 4篇栾彩娜
  • 3篇刘晓辉
  • 2篇张凯
  • 2篇许萌
  • 2篇孔今沂
  • 1篇王永利
  • 1篇计峰
  • 1篇葛松华
  • 1篇辛倩
  • 1篇王一鸣
  • 1篇马洪磊
  • 1篇宋爱民
  • 1篇徐明升

传媒

  • 2篇功能材料
  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 4篇2021
  • 3篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 6篇2007
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种低电阻率p型氧化亚铜外延薄膜的制备方法
本发明涉及一种低电阻率p型氧化亚铜外延薄膜的制备方法，包括(1)清洗衬底单晶MgO(110)；(2)将Cu<Sub>2</Sub>O陶瓷靶与衬底置于沉积室内，加热衬底至500‑700℃，打开氧气通气阀，向沉积室通入氧气，...
冯先进刘晓辉
文献传递
一种底部为肖特基接触的铟铝锌氧化物二极管及其制备方法
本发明涉及一种底部为肖特基接触的铟铝锌氧化物二极管及其制备方法，该二极管包括由下到上依次设置的SiO<Sub>2</Sub>/P<Sup>+</Sup>‑Si衬底、第一层金属电极Ti、金属电极Pd、IAZO薄膜、第二层金...
冯先进徐伟东
文献传递
蓝宝石衬底SnO_2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质被引量：4
2007年
用射频磁控溅射法在蓝宝石(0001)衬底上制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)薄膜.对制备薄膜的结构和发光性质进行了研究.制备样品为多晶薄膜,具有纯SnO2的四方金红石结构.室温条件下对样品进行光致发光测量,在334nm附近观测到紫外发射峰,并对SnO2:Sb的光致发光机制进行了研究.
冯先进马瑾葛松华计峰王永利杨帆马洪磊
关键词：射频磁控溅射光致发光
一种基于铟铝锌氧化物的肖特基二极管及其制备方法
本发明涉及一种基于铟铝锌氧化物的肖特基二极管及其制备方法，该二极管结构包括由下到上依次设置的SiO<Sub>2</Sub>/P<Sup>+</Sup>‑Si衬底、金属电极Ti、IAZO薄膜和双层金属电极Pd，双层金属电极...
冯先进徐伟东
文献传递
一种低电阻率n型氧化亚铜薄膜的真空制备方法
本发明涉及一种低电阻率n型氧化亚铜薄膜的真空制备方法，包括：(1)清洗衬底；(2)在所述衬底上生长Cu<Sub>2</Sub>O薄膜；(3)使用氮(N)等离子体处理步骤(2)得到的Cu<Sub>2</Sub>O薄膜。使用...
冯先进许萌刘晓辉
一种在低温环境中制备铟铝锌氧化物薄膜晶体管的方法
本发明涉及一种在低温环境中制备铟铝锌氧化物薄膜晶体管的方法，所述多元非晶金属氧化物薄膜晶体管由下自上依次包括衬底、IAZO有源层、源电极和漏电极，所述源电极和漏电极生长在所述IAZO有源层上，该制备方法在20℃‑70℃的...
冯先进徐伟东
一种高性能多元非晶金属氧化物薄膜晶体管的制备方法
本发明涉及一种高性能多元非晶金属氧化物薄膜晶体管的制备方法，多元非晶金属氧化物薄膜晶体管由下自上依次包括衬底、IAZO有源层、源电极和漏电极，源电极和漏电极生长在IAZO有源层上，包括：(1)清洗衬底；(2)使用射频磁控...
冯先进徐伟东
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MOCVD方法制备In2O3薄膜的性质研究
用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法以三甲基铟为源材料,以 O为氧化气体,在蓝宝石衬底(0001) 面上生长出了高质量的立方相 InO薄膜。研究了 InO 薄膜的结构、表面形貌和光电性质。结果表明制备样品具有 InO...
杨帆马瑾冯先进孔今沂张凯
关键词：MOCVD光电性质
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一种基于双有源层的铟铝锌氧化物薄膜晶体管及其制备方法
本发明涉及一种基于双有源层的铟铝锌氧化物薄膜晶体管及其制备方法，包括由下到上依次设置的衬底、双有源层、源电极和漏电极，双有源层包括由下到上依次设置第一层IAZO薄膜和第二层IAZO薄膜，源电极和漏电极均设置在第二层IAZ...
冯先进徐伟东
文献传递
一种低电阻率n型氧化亚铜薄膜的真空制备方法
本发明涉及一种低电阻率n型氧化亚铜薄膜的真空制备方法，包括：(1)清洗衬底；(2)在所述衬底上生长Cu<Sub>2</Sub>O薄膜；(3)使用氮(N)等离子体处理步骤(2)得到的Cu<Sub>2</Sub>O薄膜。使用...
冯先进许萌刘晓辉
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