吕佳楠
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金苏州市科技发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 基于表面等离子体激元效应的可调制滤波器被引量：1
- 2010年
- 针对常用的光学滤波器滤波波长不可变的特点,提出一种利用表面等离子体激元效应实现可调制滤波的方法。该方法根据金属邻近电介质的介电常数发生改变时,金属与入射光波的表面等离子体激元耦合共振模式发生改变,以此实现滤波波长调制。在加工有亚波长纳米孔阵列的A u薄膜上制作了一可见光滤波器,实验中采用空气、酒精和油作为介质对器件进行调制。结果表明:相对于常用的光学滤波器,该器件由于可以方便地改变临近介质的介电常数,因此具有滤波波长连续可调、快速方便、波长变化精度高等特点。
- 林文魁李海军朱贺付思齐吕佳楠张宝顺
- 关键词：表面等离子体激元电介质纳米孔阵列
- 基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文)被引量：1
- 2011年
- 氮化镓(GaN)材料已成功应用于光电子器件、高频功率器件等领域.近年来,由于GaN优异的材料特性,例如机械、热、化学稳定性以及生物兼容性等,使基于GaN的微机电系统(MEMS)得到了学术界的广泛关注.针对氮化镓MEMS结构的有效的图形化及释放技术是工艺研究的重点.设计、采用了一种全干法刻蚀技术,实现了(111)晶向硅衬底上的氮化镓基MEMS微结构的加工制造.利用提出的工艺方案,实现了多种悬浮GaN微结构的加工与测试表征实验.通过电子扫描显微镜(SEM)和光学轮廓仪进行了基本形貌表征;利用微拉曼光谱实验进行了加工结构的残余应力表征.
- 杨振川吕佳楠闫桂珍陈敬
- 关键词：干法刻蚀MEMS
- 基于硅衬底氮化镓材料的MEMS微结构加工工艺
- 氮化镓(GaN)及其相关的化合物半导体材料在光电子器件以及高频高功率器件领域已经取得了成功的应用，这得益于氮化镓优良的材料性能，例如：高禁，带宽度、高电子饱和速率和高击穿电压等。近年来，有关氮化镓机械性能以及压电、压阻等...
- 吕佳楠杨振川闫桂珍陈敬
- 关键词：氮化镓微结构干法刻蚀
- 文献传递
- 氮化镓微机械传感器工艺研究
- 氮化镓(Gallium Nitride,GaN)材料,在光电器件以及高频、高功率微波器件领域已经取得了令人瞩目的科研成果,并被称为继硅和砷化镓之后的“第三代半导体材料”。氮化镓材料稳定的性质使其制成的器件适合于工作在高温...
- 吕佳楠
- 关键词：氮化镓材料微机械传感器MEMS工艺
