周再发
- 作品数：175 被引量：81H指数：4
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 微重力加速度级电容式加速度传感器
- 本发明公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，由支撑边缘，由电容动极板及电容定极板构成的电容器和质量块组成，在支撑边缘和电容器上均设在锚区，设在支撑边缘上的锚区通过悬臂梁与设在电容器上的锚区相连，电容...
- 周再发黄庆安茅盘松
- 文献传递
- 负性化学放大胶的光刻模型及模拟被引量：2
- 2005年
- 在Ferguson的负性化学放大胶(CAR)后烘反应动力学模型基础上,增加了后烘过程中光致酸扩散模型,通过后烘模型的简化,得到了简化的后烘反应扩散动力学模型。将模拟图形与Ferguson的实验图形进行了比较,结果显示,简化的后烘反应扩散动力学模型比单纯的后烘反应动力学模型更准确,且程序运行占用的电脑资源更少。另外,通过不同曝光时间下的显影过程模拟,清晰地反映了光刻胶显影的过程,其结果与实际相符,对实际光刻工艺有较好的参考意义。
- 卢伟黄庆安李伟华周再发
- 关键词：光刻模拟
- 一种MEMS薄膜断裂强度的在线测试结构及方法
- 本发明公开了一种MEMS薄膜断裂强度的在线测试结构及方法，该结构由V型热执行器和测试试样组成，并增加一个散热器来限制热量流向测试试样。在执行器的梁上施加电压，通过热膨胀驱动拉断试样，读取拉断时电压的大小并测量相关电阻，代...
- 李梦洁周再发易礼言王希杰阿德南黄庆安
- 文献传递
- 一种中性气体容性耦合等离子体放电的数值模拟方法
- 本发明公开了一种中性气体容性耦合放电等离子体的数值模拟方法，该方法包括：步骤1、根据腔室中性气体流动构建相应的中性粒子仿真模型，采用直接模拟蒙特卡洛法模拟中性粒子运动，输出流场信息；步骤2、根据中性气体容性耦合放电产生的...
- 周再发包苏新刘冀洋黄庆安
- 硅材料顶层硅杨氏模量和残余应力的测试结构及测试方法
- 一种硅材料顶层硅杨氏模量和残余应力的测试结构及测试方法，结构包括SOI硅片，SOI硅片包括底层硅材料，底层硅材料上有第一、第二锚区绝缘介质层和电极绝缘介质层，其上分别有第一锚区、第二锚区和电极，底层硅材料上方有双端固支梁...
- 周再发高适萱黄庆安李伟华
- 文献传递
- 一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法
- 本发明提出了一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，将MEMS器件的线性物理过程和非线性物理过程分离，通过对MEMS器件线性物理过程进行系统识别，建立MEMS器件线性时不变传递函数模型。再将MEMS器件非线性物理...
- 周再发王九州徐昊黄庆安
- 薄膜二维淀积过程模拟的边界元胞自动机方法
- 薄膜二维淀积过程模拟的边界元胞自动机方法提供了一种用于薄膜二维淀积过程模拟的边界元胞自动机方法，该方法采用二维的摩尔邻域，在一个薄膜的淀积过程中，根据薄膜淀积过程中不断变化的衬底表面形貌确定各个时间步长时对应的淀积速率，...
- 周再发黄庆安李伟华
- 文献传递
- MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构研究进展被引量：1
- 2013年
- 综述了微电子机械系统(MEMS)薄膜塞贝克系数的测试结构。首先介绍了塞贝克效应在MEMS领域的广泛应用,简述了测试MEMS薄膜塞贝克系数的目的和意义。然后详细列举了四类典型的MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构,包括平面结构、纵向结构、微电子机械结构和纳米结构,并从测试结构的制作工艺、测量的准确性和精确度等方面对四类测试结构的优劣和适用范围进行了分析,给出了测试结构优化的建议。最后,介绍了针对测试结构存在的问题所开展的研究及取得的进展,展望了MEMS薄膜塞贝克系数测试结构的发展前景,指出了在线测试结构将推动MEMS薄膜测试技术的进一步发展。
- 张晓强李伟华周再发
- 关键词：塞贝克系数
- 一种用于微制造的多层薄膜残余应力和杨氏模量在线测试结构及在线提取方法
- 本发明属于微机电技术领域，公开了用于微制造的一种单层薄膜的杨氏模量的在线测试结构、和一种多层薄膜残余应力和杨氏模量的在线测试结构及在线提取方法。单层薄膜的杨氏模量测试结构由一组薄膜材料不同的横拉悬臂梁结构和接触电极组成。...
- 姚冠文周再发黄庆安杜雨桐徐步青程思敏
- 薄膜材料泊松比测试结构及方法
- 本发明提出了一种薄膜材料泊松比的测试结构及方法，测试结构中，第一组结构包括静电驱动的多晶硅悬臂梁(101)、由待测薄膜材料制作的带有对准结构的非对称十字梁(102)、由待测薄膜材料制作的对称十字梁(103)；第二组结构是...
- 李伟华王雷张璐周再发
- 文献传递
