夏磊
- 作品数：10 被引量：36H指数：5
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金江苏省高校优势学科建设工程资助项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程理学电子电信更多>>
- 磨粒粒径对固结磨料研磨石英玻璃的加工性能影响被引量：7
- 2015年
- 固结磨料研磨垫的磨粒粒径是影响其加工效率和表面质量,以及下阶段抛光过程的重要因素。使用5μm、14μm和30μm三种粒径的金刚石固结磨料研磨垫加工石英玻璃,分析磨粒粒径对工件表面质量、材料去除率、声发射信号、摩擦系数和磨屑的影响,并结合磨粒切深选择最佳磨粒粒径。结果表明:随着磨粒粒径增大,材料去除率和表面粗糙度值均增大,声发射信号的均值和振幅显著提高,摩擦系数到达稳定水平需要的时间延长。14μm粒径磨粒的切深分布接近石英玻璃的脆塑转变临界切深201.2nm。选用粒径14μm的金刚石固结磨料研磨垫加工石英玻璃,其材料去除率为5.65μm/min,石英玻璃的表面粗糙度值Ra为66.8nm,满足硬脆材料的高效、高质量研磨要求。
- 王文泽李军夏磊王慧敏朱永伟左敦稳
- 关键词：石英玻璃材料去除率表面粗糙度
- 基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
- 本发明公开了一种基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法，它主要包括粗磨、精磨、抛光三步骤：首先，采用W75的镀镍金刚石固结磨料研磨抛光垫（FAP）对切割后的蓝宝石毛坯进行粗磨，其次，采用W28的镀镍金刚石FAP对...
- 李军李鹏鹏王建彬朱永伟左敦稳夏磊王文泽王慧敏
- 文献传递
- 软脆易潮解晶体化学机械抛光用无水无磨料抛光液
- 一种软脆易潮解晶体化学机械抛光用无水无磨料抛光液，其特征在于它是由有机腐蚀剂0.5%-40%，有机腐蚀抑制剂0.5%-20%，有机表面活性剂0.5%-15%，有机pH调节剂0.01%-10%以及有机溶剂30%-95%组成...
- 李军朱永伟左敦稳李标夏磊孙玉利李鹏鹏罗海军
- 文献传递
- 提高精密抛光加工速度和工件表面质量的方法及装置
- 一种提高精密抛光加工速度和工件表面质量的方法及装置，其特征是所述的方法是首先，将抛光机置于密闭罩中，以防止外界粉尘进入抛光区域影响抛光质量；其次，向密闭罩中充入相配的气体，以调节密封罩中的气体压力、温度和湿度；第三，在密...
- 李军李标朱永伟左敦稳李鹏鹏孙玉利夏磊
- 文献传递
- 固结磨料研磨掺铈玻璃与K9玻璃的对比研究被引量：5
- 2013年
- 在相同研磨条件下,采用固结磨料研磨垫研磨掺铈玻璃和K9玻璃,比较掺铈玻璃和K9玻璃的研磨材料去除率,研磨摩擦系数值和加工后表面质量。研究结果表明:金刚石固结磨料研磨垫对掺铈玻璃的材料去除率和研磨摩擦系数小于K9玻璃,表面质量相对较优。掺铈玻璃残屑中的Ce与Si在金刚石颗粒表面及磨粒之间形成包裹层和填覆层,改变材料去除机理,导致材料去除率和摩擦系数下降,获得更优的表面质量。
- 夏磊李军李鹏鹏朱永伟王文泽左敦稳
- 关键词：材料去除率
- 固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究被引量：14
- 2013年
- 为获得高材料去除率和优表面质量的蓝宝石衬底,采用固结磨料研磨蓝宝石衬底提高加工效率,研究研磨压强、工作台转速、三乙醇胺(TEA)浓度和研磨垫类型四个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高材料去除率和优表面质量的工艺参数。结果表明:有图案的研磨垫、研磨压强为100 kPa、工作台转速为120 r/min、三乙醇胺的浓度为5%为最优研磨工艺参数组合,固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为31.1μm/min,表面粗糙度为0.309μm。
- 李鹏鹏李军王建彬夏磊朱永伟左敦稳
- 关键词：研磨蓝宝石衬底材料去除率表面粗糙度
- 基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
- 本发明公开了一种基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法，它主要包括粗磨、精磨、抛光三步骤：首先，采用W75的镀镍金刚石固结磨料研磨抛光垫（FAP）对切割后的蓝宝石毛坯进行粗磨，其次，采用W28的镀镍金刚石FAP对...
- 李军李鹏鹏王建彬朱永伟左敦稳夏磊王文泽王慧敏
- 文献传递
- 软脆易潮解晶体化学机械抛光用无水无磨料抛光液
- 一种软脆易潮解晶体化学机械抛光用无水无磨料抛光液，其特征在于它是由有机腐蚀剂0.5%-40%，有机腐蚀抑制剂0.5%-20%，有机表面活性剂0.5%-15%，有机pH调节剂0.01%-10%以及有机溶剂30%-95%组成...
- 李军朱永伟左敦稳李标夏磊孙玉利李鹏鹏罗海军
- 固结磨料研磨抛光K9玻璃的超精密加工工艺研究被引量：6
- 2012年
- 采用PHL-350型平面高速研磨抛光系统,通过固结磨料研磨抛光方法进行了超精密加工K9玻璃试验研究。探讨了不同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工中对K9玻璃材料去除率和表面质量的影响。获得了高效率、低成本、高质量的K9玻璃的超精密加工工艺:首先使用M20/30金刚石研磨垫研磨,然后使用3μm CeO2抛光垫抛光。加工后K9玻璃的表面粗糙度优于RMS 0.6 nm,微观损伤少。
- 李标李军朱永伟夏磊李鹏鹏孙玉利左敦稳
- 关键词：材料去除率
- 三乙醇胺浓度对固结磨料研磨垫自锐性能的影响被引量：9
- 2014年
- 采用不同浓度的三乙醇胺研磨液研磨石英晶体,基于研磨垫磨损率和工件与研磨垫的磨损比,分析了三乙醇胺浓度对石英晶体的去除率及其去除稳定性、研磨垫磨损率、磨损比、研磨摩擦系数、声发射信号和研磨后表面质量的影响。结果表明:随着三乙醇胺浓度的增加,工件与研磨垫磨损比先增大后减小,石英晶体的材料去除率和去除稳定性也对应地先增大后减小,摩擦系数先减小后增大,声发射信号先增加后减小,研磨后工件表面质量先变好后变差。当三乙醇胺浓度为5%时,石英晶体的材料去除率最大,去除率随时间变化最稳定,研磨垫使用寿命最长,表面质量最好。结果表明:研磨液中添加适量的三乙醇胺,会稳定石英晶体加工过程,延长研磨垫使用寿命,提高工件表面质量,降低生产成本。
- 李军夏磊王晓明朱永伟左敦稳
- 关键词：三乙醇胺石英晶体磨损率
